Keramické vakuové sklíčidlo z hliníku

Alumina Ceramic Vacuum Chuck je držák destiček pro epitaxní procesy při zpracování polovodičů. Je to klíčový nástroj pro stabilizaci waferů a zajištění rovnoměrného růstu epitaxních vrstev. Hojně se používá v epitaxních zařízeních jako napřMOCVDaLPCVD.

Keramické vakuové sklíčidlo VeTek Semiconductor Alumina hraje zásadní roli ve fázích ztenčování a broušení plátků při výrobě polovodičů. Tyto fáze zahrnují přesné snížení tloušťkyoplatkový substrátzlepšit odvod tepla čipem, který je nezbytný pro zlepšení účinnosti a životnosti polovodičových součástek.

Kompatibilní s více velikostmi oplatek: VeTek Semiconductor Alumina Ceramic Vacuum Chuck je navrženo tak, aby podporovalo širokou škálu velikostí plátků, včetně 2, 3, 4, 5, 6, 8 a 12 palců. Díky této přizpůsobivosti je vhodný pro různá prostředí výroby polovodičů a zajišťuje konzistentní a spolehlivý výkon napříč různými velikostmi waferů.

Špičkové materiálové složení: Základna keramického vakuového sklíčidla Alumina je vyrobena z ultračisté 99,9999% Aluminy (Al₂O₃), který nabízí vynikající odolnost proti chemickému napadení a tepelnou stabilitu. Povrch sklíčidla je vyroben z porézního materiálukarbid křemíku (SiC). Porézní keramický materiál má hustou a jednotnou strukturu, což zlepšuje jeho odolnost a výkon.

VýhodyTechnologie porézní keramiky：

Čistota a životnost materiálu: Naše keramické vakuové sklíčidlo Alumina, vyrobené z 99,99% čistého hliníku, odolává chemickému napadení a nabízí vynikající tepelnou stabilitu, takže je ideální pro extrémně náročná výrobní prostředí.

Optimální poréznost a propustnost vzduchu: Rovnoměrně rozmístěné mikropóry poskytují vynikající propustnost vzduchu a rovnoměrnou adsorpční sílu, což má za následek hladký a konzistentní provoz.

Vylepšená plochost a rovnoběžnost: Mikroporézní keramická vakuová sklíčidla z hliníku mají vynikající rovinnost a rovnoběžnost, což zajišťuje přesnou manipulaci a stabilitu.

Možnosti přizpůsobených služeb: VeTekSemi může poskytnout různé přizpůsobitelné tvary, včetně kulatých, čtvercových, prstencových a dalších designů, s tloušťkou od 3 mm do 10 mm. Toto přizpůsobení zajišťuje, že naše keramická vakuová sklíčidla z oxidu hlinitého splňují specifické potřeby různých procesů výroby polovodičů a jsou rozhodně vaší ideální volbou.

VeTek Semiconductorse zavazuje poskytovat pokročilé technologie a produktová řešení pro polovodičový průmysl a upřímně doufáme, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

TheChemický vzorecaluminová keramika：

VeTek SemiconductorProdejny keramických vakuových sklíčidel Alumina: