Domov > produkty > Povlak z karbidu křemíku

Čína Povlak z karbidu křemíku výrobce, dodavatel, továrna

VeTek Semiconductor se specializuje na výrobu ultračistých produktů s povlakem z karbidu křemíku, tyto povlaky jsou navrženy pro aplikaci na čištěný grafit, keramiku a součásti žáruvzdorných kovů.

Naše vysoce čisté povlaky jsou primárně určeny pro použití v polovodičovém a elektronickém průmyslu. Slouží jako ochranná vrstva pro nosiče plátků, susceptory a topné prvky a chrání je před korozivním a reaktivním prostředím, které se vyskytuje v procesech, jako je MOCVD a EPI. Tyto procesy jsou nedílnou součástí zpracování plátků a výroby zařízení. Kromě toho jsou naše povlaky vhodné pro aplikace ve vakuových pecích a ohřevu vzorků, kde se setkáváme s vysokým vakuem, reaktivním a kyslíkovým prostředím.

Ve společnosti VeTek Semiconductor nabízíme komplexní řešení s našimi pokročilými možnostmi strojírny. To nám umožňuje vyrábět základní komponenty s použitím grafitu, keramiky nebo žáruvzdorných kovů a nanášet keramické povlaky SiC nebo TaC ve firmě. Poskytujeme také lakovací služby pro díly dodané zákazníkem, což zajišťuje flexibilitu pro splnění různých potřeb.

Naše produkty z karbidu křemíku jsou široce používány v epitaxi Si, epitaxi SiC, systému MOCVD, procesu RTP/RTA, procesu leptání, procesu leptání ICP/PSS, procesu různých typů LED, včetně modré a zelené LED, UV LED a hlubokého UV LED atd., která je přizpůsobena zařízení od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI a tak dále.


Části reaktoru, které umíme:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Povlak z karbidu křemíku má několik jedinečných výhod:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parametr povlaku VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating:

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku
Vlastnictví Typická hodnota
Krystalová struktura FCC β fáze polykrystalická, převážně (111) orientovaná
Hustota 3,21 g/cm³
Tvrdost Tvrdost 2500 Vickers(zátěž 500g)
Velikost zrna 2~10μm
Chemická čistota 99,99995 %
Tepelná kapacita 640 J·kg-1·K-1
Teplota sublimace 2700 ℃
Pevnost v ohybu 415 MPa RT 4-bod
Youngův modul Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃
Tepelná vodivost 300W·m-1·K-1
Tepelná roztažnost (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Sklíčidlo z karbidu křemíku

Sklíčidlo z karbidu křemíku

Jako přední výrobce a dodavatel produktů Silicon Carbide Wafer Chuck v Číně hraje VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck nezastupitelnou roli v procesu epitaxního růstu díky své vynikající odolnosti vůči vysokým teplotám, odolnosti proti chemické korozi a odolnosti proti tepelným šokům. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Sprchová hlavice z karbidu křemíku

Sprchová hlavice z karbidu křemíku

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a dodavatelem sprchových hlavic z karbidu křemíku v Číně. Sprchová hlavice SiC má vynikající toleranci vůči vysokým teplotám, chemickou stabilitu, tepelnou vodivost a dobrý výkon při distribuci plynu, což může dosáhnout rovnoměrné distribuce plynu a zlepšit kvalitu filmu. Proto se obvykle používá při vysokoteplotních procesech, jako je chemická depozice z plynné fáze (CVD) nebo fyzikální depozice z plynné fáze (PVD). Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Těsnicí kroužek z karbidu křemíku

Těsnicí kroužek z karbidu křemíku

Jako profesionální výrobce a továrna těsnicích kroužků z karbidu křemíku v Číně je těsnicí kroužek z karbidu křemíku VeTek široce používán v zařízeních na zpracování polovodičů díky své vynikající tepelné odolnosti, odolnosti proti korozi, mechanické pevnosti a tepelné vodivosti. Je zvláště vhodný pro procesy zahrnující vysokoteplotní a reaktivní plyny, jako je CVD, PVD a plazmové leptání, a je klíčovou volbou materiálu v procesu výroby polovodičů. Vaše další dotazy jsou vítány.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Držák destičky potažený SiC

Držák destičky potažený SiC

VeTek Semiconductor je profesionální výrobce a vedoucí produktů držáků destiček potažených SiC v Číně. Držák destičky potažený SiC je držák destičky pro proces epitaxe při zpracování polovodičů. Je to nenahraditelné zařízení, které stabilizuje wafer a zajišťuje rovnoměrný růst epitaxní vrstvy. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Držák na oplatky Epi

Držák na oplatky Epi

VeTek Semiconductor je profesionální výrobce a továrna Epi Wafer Holder v Číně. Epi Wafer Holder je držák destiček pro proces epitaxe při zpracování polovodičů. Je to klíčový nástroj pro stabilizaci plátku a zajištění rovnoměrného růstu epitaxní vrstvy. Je široce používán v epitaxních zařízeních, jako je MOCVD a LPCVD. Je to nenahraditelné zařízení v procesu epitaxe. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Satelitní nosič destiček Aixtron

Satelitní nosič destiček Aixtron

Jako profesionální výrobce a inovátor Aixtron Satellite Wafer Carrier v Číně, VeTek Semiconductor's Aixtron Satellite Wafer Carrier je nosič plátků používaný v zařízení AIXTRON, který se používá hlavně v procesech MOCVD při zpracování polovodičů a je zvláště vhodný pro vysokoteplotní a vysoce přesné procesy zpracování polovodičů. Nosič může poskytovat stabilní podporu plátku a rovnoměrné ukládání filmu během epitaxního růstu MOCVD, což je nezbytné pro proces ukládání vrstvy. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu křemíku v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu křemíku vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept