VeTek Semiconductor se specializuje na výrobu ultračistých produktů s povlakem z karbidu křemíku, tyto povlaky jsou navrženy pro aplikaci na čištěný grafit, keramiku a součásti žáruvzdorných kovů.
Naše vysoce čisté povlaky jsou primárně určeny pro použití v polovodičovém a elektronickém průmyslu. Slouží jako ochranná vrstva pro nosiče plátků, susceptory a topné prvky a chrání je před korozivním a reaktivním prostředím, které se vyskytuje v procesech, jako je MOCVD a EPI. Tyto procesy jsou nedílnou součástí zpracování plátků a výroby zařízení. Kromě toho jsou naše povlaky vhodné pro aplikace ve vakuových pecích a ohřevu vzorků, kde se setkáváme s vysokým vakuem, reaktivním a kyslíkovým prostředím.
Ve společnosti VeTek Semiconductor nabízíme komplexní řešení s našimi pokročilými možnostmi strojírny. To nám umožňuje vyrábět základní komponenty s použitím grafitu, keramiky nebo žáruvzdorných kovů a nanášet keramické povlaky SiC nebo TaC ve firmě. Poskytujeme také lakovací služby pro díly dodané zákazníkem, což zajišťuje flexibilitu pro splnění různých potřeb.
Naše produkty z karbidu křemíku jsou široce používány v epitaxi Si, epitaxi SiC, systému MOCVD, procesu RTP/RTA, procesu leptání, procesu leptání ICP/PSS, procesu různých typů LED, včetně modré a zelené LED, UV LED a hlubokého UV LED atd., která je přizpůsobena zařízení od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI a tak dále.
Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku | |
Vlastnictví | Typická hodnota |
Krystalová struktura | FCC β fáze polykrystalická, převážně (111) orientovaná |
Hustota | 3,21 g/cm³ |
Tvrdost | Tvrdost 2500 Vickers(zátěž 500g) |
Velikost zrna | 2~10μm |
Chemická čistota | 99,99995 % |
Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
Teplota sublimace | 2700 ℃ |
Pevnost v ohybu | 415 MPa RT 4-bod |
Youngův modul | Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Tepelná vodivost | 300W·m-1·K-1 |
Tepelná roztažnost (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor je přední SiC potažený nosič pro LPE PE2061S výrobce a inovátor v Číně. Specializujeme se na SiC povlakový materiál po mnoho let. Nabízíme SiC potažený nosič pro LPE PE2061S navržený speciálně pro LPE silikonový epitaxní reaktor. Tato podpěra potažená SiC pro LPE PE2061S je spodní část susceptoru hlavně. Vydrží vysokou teplotu 1600 stupňů Celsia, prodlouží životnost grafitového náhradního dílu. Vítáme vás, pokud nám pošlete dotaz.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je přední SiC potažená horní deska pro výrobce a inovátora LPE PE2061S v Číně. Již mnoho let se specializujeme na SiC potahový materiál. Nabízíme SiC potaženou horní desku pro LPE PE2061S navrženou speciálně pro LPE silikonový epitaxní reaktor. Tato horní deska s povlakem SiC pro LPE PE2061S je horní deska spolu s válcovým susceptorem. Tato deska s povlakem CVD SiC se může pochlubit vysokou čistotou, vynikající tepelnou stabilitou a jednotností, díky čemuž je vhodná pro pěstování vysoce kvalitních epitaxních vrstev. Vítáme vás na návštěvě naší továrny v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je přední susceptor potažený SiC pro výrobce a inovátora LPE PE2061S v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakový materiál SiC. Nabízíme válcový susceptor potažený SiC navržený speciálně pro 4'' destičky LPE PE2061S. Tento susceptor je vybaven odolným povlakem z karbidu křemíku, který zvyšuje výkon a odolnost během procesu LPE (liquid Phase Epitaxy). Vítáme vás na návštěvě naší továrny v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem plynové sprchové hlavice z pevného SiC v Číně. Již mnoho let se specializujeme na polovodičový materiál. Víceporozitní design hlavice VeTek Semiconductor Solid SiC plynové sprchové hlavice zajišťuje, že teplo generované v procesu CVD může být rozptýleno , zajišťující rovnoměrné zahřívání substrátu. Těšíme se na dlouhodobou spolupráci s vámi v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem pevných SiC kroužků v procesu chemického nanášení z plynné fáze v Číně. Již mnoho let se specializujeme na polovodičový materiál. Pevný okrajový kroužek VeTek Semiconductor nabízí zlepšenou rovnoměrnost leptání a přesné umístění plátků při použití s elektrostatickým sklíčidlem , zajišťující konzistentní a spolehlivé výsledky leptání. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSpolečnost VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem fokusačního kroužku pro leptání na pevné SiC v Číně. Již mnoho let se specializujeme na materiál SiC. Pevný SiC je vybrán jako materiál fokusačního kroužku díky své vynikající termochemické stabilitě, vysoké mechanické pevnosti a odolnosti vůči plazmatu eroze. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz