> produkty > Povlak z karbidu tantalu

produkty

Nové produkty

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobce, dodavatel, továrna

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní nabídky produktů patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlána stát se inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouDefektní prstenec s povlakem z karbidu tantalu, kroužek s povlakem TaC, půlměsícové díly s povlakem TaC, planetární rotační disk s povlakem z karbidu tantalu (Aixtron G10), kelímek s povlakem TaC; Kroužky potažené TaC; porézní grafit potažený TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodicí kroužek potažený TaC; TaC deska potažená karbidem tantalu; Susceptor destičky potažený TaC; TaC povlakový kroužek; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

Teplotní stabilita

Ultra vysoká čistota

Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

Odolnost vůči tepelným zásobám

Silná přilnavost ke grafitu

Konformní pokrytí povlakem

Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

Wafer carrier

Indukční topný susceptor

Odporové topné těleso

Satelitní disk

Sprchová hlavice

Vodící kroužek

LED Epi přijímač

Vstřikovací tryska

Maskovací kroužek

Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

TaC coating EDX data

Data krystalové struktury povlaku TaC

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC Deska potažená TaC Rotační deska povlaku TaC Susceptor povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

Kroužek potažený karbidem tantalu

Jako profesionální inovátor a lídr v oblasti produktů s povlakem karbidu tantalu v Číně hraje polovodičový prstenec s povlakem karbidu tantalu nezastupitelnou roli při růstu krystalů SiC díky své vynikající odolnosti vůči vysokým teplotám, odolnosti proti opotřebení a vynikající tepelné vodivosti. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Porézní karbid tantalu

VeTek Semiconductor je profesionální výrobce a vedoucí produktů z porézního karbidu tantalu v Číně. Porézní karbid tantalu se obvykle vyrábí metodou chemického napařování (CVD), která zajišťuje přesné řízení velikosti jeho pórů a distribuce, a je materiálovým nástrojem určeným pro extrémní prostředí s vysokou teplotou. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Kroužek z karbidu tantalu

Jako pokročilý výrobce a výrobce produktů z karbidu tantalu v Číně má VeTek Semiconductor prsten z karbidu tantalu extrémně vysokou tvrdost, odolnost proti opotřebení, odolnost vůči vysokým teplotám a chemickou stabilitu a je široce používán v oblasti výroby polovodičů. Zejména v oblasti CVD, PVD, procesu iontové implantace, procesu leptání a zpracování a přepravy plátků je nepostradatelným produktem pro zpracování a výrobu polovodičů. Těšíme se na vaši další konzultaci.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Podpora povlaku z karbidu tantalu

Jako profesionální výrobce a továrna na potahování karbidu tantalu v Číně se VeTek Semiconductor karbidu tantalu obvykle používá k povrchovému potahování konstrukčních součástí nebo nosných komponent v polovodičových zařízeních, zejména pro povrchovou ochranu klíčových komponent zařízení v procesech výroby polovodičů, jako je např. CVD a PVD. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Vodicí kroužek z karbidu tantalu

VeTek Semiconductor je profesionální výrobce a vedoucí produktů s vodicími kroužky z karbidu tantalu v Číně. Náš vodicí kroužek z karbidu tantalu (TaC) je vysoce výkonný kroužek vyrobený z karbidu tantalu, který se běžně používá v zařízeních pro zpracování polovodičů, zejména ve vysokoteplotních a vysoce korozivních prostředích, jako je CVD, PVD, leptání a difúze. VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat pokročilé technologie a produktová řešení pro polovodičový průmysl a vítá vaše další dotazy.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Rotační susceptor povlaku TaC

Jako profesionální výrobce, inovátor a lídr produktů TaC Coating Rotation Susceptor v Číně. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor se obvykle instaluje do zařízení pro chemickou depozici z plynné fáze (CVD) a epitaxi molekulárním paprskem (MBE), aby podpíral a otáčel wafery, aby se zajistilo jednotné nanášení materiálu a účinná reakce. Je to klíčová součást při zpracování polovodičů. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

<1 2 3 4 5...8 >

Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu tantalu v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.