> produkty > Povlak z karbidu tantalu

produkty

Nové produkty

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobce, dodavatel, továrna

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní nabídky produktů patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlána stát se inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouDefektní prstenec s povlakem z karbidu tantalu, kroužek s povlakem TaC, půlměsícové díly s povlakem TaC, planetární rotační disk s povlakem z karbidu tantalu (Aixtron G10), kelímek s povlakem TaC; Kroužky potažené TaC; porézní grafit potažený TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodicí kroužek potažený TaC; TaC deska potažená karbidem tantalu; Susceptor destičky potažený TaC; TaC povlakový kroužek; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

Teplotní stabilita

Ultra vysoká čistota

Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

Odolnost vůči tepelným zásobám

Silná přilnavost ke grafitu

Konformní pokrytí povlakem

Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

Wafer carrier

Indukční topný susceptor

Odporové topné těleso

Satelitní disk

Sprchová hlavice

Vodící kroužek

LED Epi přijímač

Vstřikovací tryska

Maskovací kroužek

Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

TaC coating EDX data

Data krystalové struktury povlaku TaC

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC Deska potažená TaC Rotační deska povlaku TaC Susceptor povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

Náhradní díl povlaku TaC

VeTek Semiconductor je profesionální výrobce TaC Coating Plate a dalších náhradních dílů TaC Coating v Číně. TaC Coating se v současnosti používá hlavně v procesech, jako je růst monokrystalů karbidu křemíku (metoda PVT), epitaxní disk (včetně epitaxe karbidu křemíku, LED epitaxe) atd. V kombinaci s dobrou dlouhodobou stabilitou TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate se stal měřítkem pro náhradní díly TaC Coating. Těšíme se, že se stanete naším dlouhodobým partnerem.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

GaN na SiC epi akceptoru

VeTek Semiconductor je profesionální výrobce GaN na SiC epi susceptor, CVD SiC povlak a CVD TAC COATING grafitový susceptor v Číně. Mezi nimi hraje GaN na SiC epi susceptoru zásadní roli při zpracování polovodičů. Díky své vynikající tepelné vodivosti, schopnosti zpracování při vysokých teplotách a chemické stabilitě zajišťuje vysokou účinnost a kvalitu materiálu procesu epitaxního růstu GaN. Upřímně se těšíme na vaši další konzultaci.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Nosič povlaku CVD TaC

Nosič CVD TaC Coating společnosti VeTek Semiconductor je určen hlavně pro epitaxní proces výroby polovodičů. Ultra vysoký bod tání nosiče CVD TaC, vynikající odolnost proti korozi a vynikající tepelná stabilita určují nepostradatelnost tohoto produktu v polovodičovém epitaxním procesu. Upřímně doufáme, že s vámi vybudujeme dlouhodobý obchodní vztah.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Vodicí kroužek povlaku TaC

Vodicí kroužek TaC Coating Guide společnosti VeTek Semiconductor je vytvořen nanášením povlaku karbidu tantalu na grafitové součásti pomocí vysoce pokročilé techniky zvané chemické nanášení z plynné fáze (CVD). Tato metoda je dobře zavedená a nabízí výjimečné vlastnosti povlaku. Použitím vodícího kroužku povlaku TaC lze výrazně prodloužit životnost grafitových součástí, potlačit pohyb grafitových nečistot a spolehlivě zachovat kvalitu monokrystalu SiC a AIN. Vítejte na dotaz nás.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Grafitový susceptor potažený TaC

Grafitový susceptor s povlakem TaC společnosti VeTek Semiconductor využívá metodu chemického napařování (CVD) k přípravě povlaku karbidu tantalu na povrchu grafitových dílů. Tento proces je nejvyzrálejší a má nejlepší vlastnosti povlaku. Grafitový susceptor potažený TaC může prodloužit životnost grafitových komponent, zabránit migraci grafitových nečistot a zajistit kvalitu epitaxe. VeTek Semiconductor se těší na váš dotaz.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Susceptor povlaku TaC

VeTek Semiconductor představuje TaC Coating Susceptor. Díky svému výjimečnému TaC povlaku nabízí tento susceptor řadu výhod, které jej odlišují od konvenčních řešení. TaC Coating Susceptor od VeTek Semiconductor zaručuje bezproblémovou integraci do stávajících systémů a zaručuje kompatibilitu a efektivní provoz. Jeho spolehlivý výkon a vysoce kvalitní povlak TaC trvale poskytují výjimečné výsledky v procesech epitaxe SiC. Jsme odhodláni poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

<1 2 3 4 5...8 >

Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu tantalu v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.