CVD TaC potahovací kelímek

TaC povlak Rotation Susceptor hraje klíčovou roli v procesech vysokoteplotní depozice, jako je CVD a MBE, a je důležitou součástí pro zpracování plátků při výrobě polovodičů. Mezi nimiTaC povlakmá vynikající odolnost vůči vysokým teplotám, odolnost proti korozi a chemickou stabilitu, což zajišťuje vysokou přesnost a vysokou kvalitu při zpracování oplatek.

CVD TaC povlakovací kelímek se obvykle skládá z povlaku TaC agrafitsubstrát. Mezi nimi je TaC keramický materiál s vysokým bodem tání s bodem tání až 3880 °C. Má extrémně vysokou tvrdost (Vickersova tvrdost až 2000 HV), odolnost proti chemické korozi a silnou oxidační odolnost. Proto je povlak TaC vynikajícím materiálem odolným vůči vysokým teplotám v technologii zpracování polovodičů.

Grafitový substrát má dobrou tepelnou vodivost (tepelná vodivost je asi 21 W/m·K) a vynikající mechanickou stabilitu. Tato vlastnost určuje, že grafit se stává ideálním povlakemsubstrát.

CVD TaC Coating Crucible se používá hlavně v následujících technologiích zpracování polovodičů:

Výroba oplatek: VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible má vynikající odolnost vůči vysokým teplotám (bod tání až 3880 °C) a odolnost proti korozi, takže se často používá v klíčových procesech výroby plátků, jako je vysokoteplotní napařování (CVD) a epitaxní růst. V kombinaci s vynikající strukturální stabilitou produktu v prostředí s ultravysokými teplotami zajišťuje, že zařízení může pracovat stabilně po dlouhou dobu v extrémně drsných podmínkách, čímž se účinně zlepšuje efektivita výroby a kvalita waferů.

Proces epitaxního růstu: U epitaxních procesů, jako je napřchemická depozice z par (CVD)a epitaxe molekulárního paprsku (MBE), CVD TaC Coating Crucible hraje klíčovou roli při přenášení. Jeho povlak TaC dokáže nejen udržet vysokou čistotu materiálu při extrémní teplotě a korozivní atmosféře, ale také účinně zabránit kontaminaci reaktantů na materiálu a korozi reaktoru, což zajišťuje přesnost výrobního procesu a konzistenci produktu.

Jako přední čínský výrobce a vůdce CVD TaC Coating Crucible může VeTek Semiconductor poskytovat přizpůsobené produkty a technické služby podle vašich požadavků na zařízení a procesy. Upřímně doufáme, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu：

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC：

VeTek Semiconductor Obchody s CVD TaC potahovými kelímky：