> produkty > Povlak z karbidu tantalu

produkty

Nové produkty

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobce, dodavatel, továrna

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní nabídky produktů patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlána stát se inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouDefektní prstenec s povlakem z karbidu tantalu, kroužek s povlakem TaC, půlměsícové díly s povlakem TaC, planetární rotační disk s povlakem z karbidu tantalu (Aixtron G10), kelímek s povlakem TaC; Kroužky potažené TaC; porézní grafit potažený TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodicí kroužek potažený TaC; TaC deska potažená karbidem tantalu; Susceptor destičky potažený TaC; TaC povlakový kroužek; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

Teplotní stabilita

Ultra vysoká čistota

Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

Odolnost vůči tepelným zásobám

Silná přilnavost ke grafitu

Konformní pokrytí povlakem

Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

Wafer carrier

Indukční topný susceptor

Odporové topné těleso

Satelitní disk

Sprchová hlavice

Vodící kroužek

LED Epi přijímač

Vstřikovací tryska

Maskovací kroužek

Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

TaC coating EDX data

Data krystalové struktury povlaku TaC

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC Deska potažená TaC Rotační deska povlaku TaC Susceptor povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

CVD TaC potahovací kelímek

VeTek Semiconductor je profesionální výrobce a vedoucí produktů CVD TaC Coating Crucible v Číně. CVD TaC Coating Crucible je založen na povlaku tantalového uhlíku (TaC). Povlak z tantalu a uhlíku je rovnoměrně pokryt na povrchu kelímku procesem chemického napařování (CVD), aby se zvýšila jeho tepelná odolnost a odolnost proti korozi. Jedná se o materiálový nástroj speciálně používaný v extrémních prostředích s vysokou teplotou. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Nosič plátku s povlakem CVD TaC

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier, profesionální výrobce a továrna na nosiče povlaků CVD TaC v Číně, je nástroj pro přenášení plátků speciálně navržený pro vysokoteplotní a korozivní prostředí při výrobě polovodičů. Tento výrobek má vysokou mechanickou pevnost, vynikající odolnost proti korozi a tepelnou stabilitu, což poskytuje nezbytnou záruku pro výrobu vysoce kvalitních polovodičových součástek. Vaše další dotazy jsou vítány.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Ohřívač povlaku TaC

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem TaC Coating Heater v Číně. Tento produkt má extrémně vysoký bod tání (asi 3880 °C). Vysoký bod tání TaC Coating Heater umožňuje pracovat při extrémně vysokých teplotách, zejména při růstu epitaxních vrstev nitridu galia (GaN) v procesu metal organické chemické depozice z plynné fáze (MOCVD). VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat pokročilé technologie a produktová řešení pro polovodičový průmysl. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Sklíčidlo potažené TaC

Jako profesionální výrobce a dodavatel sklíčidla TaC Coated Chuck v Číně je sklíčidlo TaC Coating Chuck společnosti VeTek Semiconductor speciálně navrženo pro polovodičové pece. Díky své vysoké teplotní odolnosti, chemické inertnosti a vynikajícímu výkonu poskytuje inovativní technologie Vetek Semiconductor spolehlivé řešení pro průmysl výroby polovodičů pro zajištění vysoce kvalitních výrobních standardů. Věříme, že naše produkty vám mohou přinést pokročilé technologie a vysoce kvalitní produktová řešení.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Potahovací trubice TaC

Jako profesionální výrobce a dodavatel povlakových trubek TaC v Číně je povlaková trubice TaC společnosti VeTek Semiconductor klíčovou součástí pro úspěšný růst monokrystalů karbidu křemíku. Díky vysoké teplotní odolnosti, chemické inertnosti a vynikajícímu výkonu zajišťuje výrobu vysoce kvalitních krystalů s konzistentními výsledky. Důvěřujte našim inovativním řešením, která posílí proces růstu krystalů SiC metodou PVT a dosáhnou vynikajících výsledků. Vítejte na dotazu.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

CVD TAC povlak

VeTek Semiconductor je přední výrobce, inovátor a lídr v oblasti CVD TAC Coating v Číně. Po mnoho let se zaměřujeme na různé produkty CVD TAC Coating, jako je CVD TaC povlak, CVD TaC Coating Ring, nosič CVD TaC Coating atd. VeTek Semiconductor podporuje přizpůsobené produktové služby a uspokojivé ceny produktů a těší se na vaše další konzultace.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

<1 2 3 4 5...8 >

Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu tantalu v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.