Domov > produkty > Povlak z karbidu tantalu

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobce, dodavatel, továrna

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní nabídky produktů patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlána stát se inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.


Hlavními produkty jsouDefektní prstenec s povlakem z karbidu tantalu, kroužek s povlakem TaC, půlměsícové díly s povlakem TaC, planetární rotační disk s povlakem z karbidu tantalu (Aixtron G10), kelímek s povlakem TaC; Kroužky potažené TaC; porézní grafit potažený TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodicí kroužek potažený TaC; TaC deska potažená karbidem tantalu; Susceptor destičky potažený TaC; TaC povlakový kroužek; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.


TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:


Excellent properties of TaC coating graphite


Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.


Klíčové vlastnosti:

 ●Teplotní stabilita

 ●Ultra vysoká čistota

 ●Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

 ●Odolnost vůči tepelným zásobám

 ●Silná přilnavost ke grafitu

 ●Konformní pokrytí povlakem

 Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)


Aplikace:

 ●Nosič oplatek

 ● Indukční topný susceptor

 ● Odporové topné těleso

 ●Satelitní disk

 ●Sprchová hlavice

 ●Vodící kroužek

 ●LED Epi přijímač

 ●Vstřikovací tryska

 ●Maskovací kroužek

 ● Tepelný štít


Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota 14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita 0.3
Koeficient tepelné roztažnosti 6.3 10-6/K
Tvrdost (HK) 2000 HK
Odpor 1×10-5Ohm*cm
Tepelná stabilita <2500℃
Velikost grafitu se mění -10~-20um
Tloušťka povlaku ≥20um typická hodnota (35um±10um)


Data EDX povlaku TaC

EDX data of TaC coating


Data krystalové struktury povlaku TaC:

Živel Atomové procento
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Průměrný
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Kroužek potažený karbidem tantalu

Kroužek potažený karbidem tantalu

Jako profesionální inovátor a lídr v oblasti produktů s povlakem karbidu tantalu v Číně hraje polovodičový prstenec s povlakem karbidu tantalu nezastupitelnou roli při růstu krystalů SiC díky své vynikající odolnosti vůči vysokým teplotám, odolnosti proti opotřebení a vynikající tepelné vodivosti. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Porézní karbid tantalu

Porézní karbid tantalu

VeTek Semiconductor je profesionální výrobce a vedoucí produktů z porézního karbidu tantalu v Číně. Porézní karbid tantalu se obvykle vyrábí metodou chemického napařování (CVD), která zajišťuje přesné řízení velikosti jeho pórů a distribuce, a je materiálovým nástrojem určeným pro extrémní prostředí s vysokou teplotou. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Kroužek z karbidu tantalu

Kroužek z karbidu tantalu

Jako pokročilý výrobce a výrobce produktů z karbidu tantalu v Číně má VeTek Semiconductor prsten z karbidu tantalu extrémně vysokou tvrdost, odolnost proti opotřebení, odolnost vůči vysokým teplotám a chemickou stabilitu a je široce používán v oblasti výroby polovodičů. Zejména v oblasti CVD, PVD, procesu iontové implantace, procesu leptání a zpracování a přepravy plátků je nepostradatelným produktem pro zpracování a výrobu polovodičů. Těšíme se na vaši další konzultaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Podpora povlaku z karbidu tantalu

Podpora povlaku z karbidu tantalu

Jako profesionální výrobce a továrna na potahování karbidu tantalu v Číně se VeTek Semiconductor karbidu tantalu obvykle používá k povrchovému potahování konstrukčních součástí nebo nosných komponent v polovodičových zařízeních, zejména pro povrchovou ochranu klíčových komponent zařízení v procesech výroby polovodičů, jako je např. CVD a PVD. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Vodicí kroužek z karbidu tantalu

Vodicí kroužek z karbidu tantalu

VeTek Semiconductor je profesionální výrobce a vedoucí produktů s vodicími kroužky z karbidu tantalu v Číně. Náš vodicí kroužek z karbidu tantalu (TaC) je vysoce výkonný kroužek vyrobený z karbidu tantalu, který se běžně používá v zařízeních pro zpracování polovodičů, zejména ve vysokoteplotních a vysoce korozivních prostředích, jako je CVD, PVD, leptání a difúze. VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat pokročilé technologie a produktová řešení pro polovodičový průmysl a vítá vaše další dotazy.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Rotační susceptor povlaku TaC

Rotační susceptor povlaku TaC

Jako profesionální výrobce, inovátor a lídr produktů TaC Coating Rotation Susceptor v Číně. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor se obvykle instaluje do zařízení pro chemickou depozici z plynné fáze (CVD) a epitaxi molekulárním paprskem (MBE), aby podpíral a otáčel wafery, aby se zajistilo jednotné nanášení materiálu a účinná reakce. Je to klíčová součást při zpracování polovodičů. Vítám vaši další konzultaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu tantalu v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept