Podpora povlaku z karbidu tantalu

Hlavní funkce VeTek SemiconductorPovlak z karbidu tantalu (TaC).Podpora je zlepšittepelná odolnost, odolnost proti opotřebení a odolnost proti korozisubstrátu potažením vrstvou karbidu tantalu, aby se zlepšila přesnost a spolehlivost procesu a prodloužila životnost součástí. Jedná se o vysoce výkonný nátěrový produkt používaný v oblasti zpracování polovodičů.

VeTek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Supor má Mohsovu tvrdost téměř 9~10, na druhém místě za diamantem. Má extrémně silnou odolnost proti opotřebení a může účinně odolávat povrchovému opotřebení a nárazům během zpracování, čímž účinně prodlužuje životnost součástí zařízení. V kombinaci se svým vysokým bodem tání kolem 3880 °C se často používá pro nátěry klíčových součástí polovodičových zařízení, jako jsou povrchové nátěry nosných konstrukcí, zařízení pro tepelné zpracování, komory nebo těsnění v polovodičových zařízeních pro zvýšení odolnosti proti opotřebení a vysoké teplotě. odpor.

Díky extrémně vysokému bodu tání karbidu tantalu kolem 3880 °C se v procesech zpracování polovodičů, jako je např.chemical vapor deposition (CVD)afyzikální depozice z plynné fáze (PVD), TaC Coating se silnou odolností vůči vysokým teplotám a chemickou odolností proti korozi může účinně chránit součásti zařízení a zabránit korozi nebo poškození substrátu v extrémních prostředích a poskytuje účinnou ochranu pro prostředí s vysokou teplotou při výrobě plátků. Tato funkce také určuje, že podpora povlaků z karbidu tantalu VeTek Semiconductor se často používá při leptání a korozivních procesech.

Tantal Carbide Coating Support má také funkci snížení kontaminace částicemi. Během zpracování waferů povrchové opotřebení obvykle produkuje kontaminaci částicemi, což ovlivňuje kvalitu produktu waferu. Extrémní vlastnosti produktu TaC Coating s tvrdostí 9-10 Mohs mohou účinně snížit toto opotřebení, a tím snížit tvorbu částic. V kombinaci s vynikající tepelnou vodivostí povlaku TaC (asi 21 W/m·K) dokáže udržet dobrou tepelnou vodivost za podmínek vysokých teplot, čímž výrazně zlepšuje výtěžnost a konzistenci výroby plátků.

Mezi hlavní produkty TaC Coating společnosti VeTek Semiconductor patříOhřívač povlaku TaC, CVD TaC potahovací kelímek, Rotační susceptor povlaku TaCaNáhradní díl povlaku TaCatd. a podporují přizpůsobené produktové služby. VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat vynikající produkty a technická řešení pro polovodičový průmysl. Upřímně doufáme, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Základní fyzikální vlastnosti CVD TaC povlaku：