> produkty > Povlak z karbidu tantalu

produkty

Nové produkty

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobce, dodavatel, továrna

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní nabídky produktů patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlána stát se inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouDefektní prstenec s povlakem z karbidu tantalu, kroužek s povlakem TaC, půlměsícové díly s povlakem TaC, planetární rotační disk s povlakem z karbidu tantalu (Aixtron G10), kelímek s povlakem TaC; Kroužky potažené TaC; porézní grafit potažený TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodicí kroužek potažený TaC; TaC deska potažená karbidem tantalu; Susceptor destičky potažený TaC; TaC povlakový kroužek; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

Teplotní stabilita

Ultra vysoká čistota

Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

Odolnost vůči tepelným zásobám

Silná přilnavost ke grafitu

Konformní pokrytí povlakem

Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

Wafer carrier

Indukční topný susceptor

Odporové topné těleso

Satelitní disk

Sprchová hlavice

Vodící kroužek

LED Epi přijímač

Vstřikovací tryska

Maskovací kroužek

Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

TaC coating EDX data

Data krystalové struktury povlaku TaC

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC Deska potažená TaC Rotační deska povlaku TaC Susceptor povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

Vodicí kroužek potažený TaC

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem vodicích kroužků s povlakem TaC v Číně. Již mnoho let se specializujeme na keramické povlaky. Vodicí kroužky s povlakem TaC se primárně používají k vedení a řízení proudění vzduchu, čímž se zvyšuje výtěžnost růstu monokrystalů. Vítejte na dotazu nás pro další informace.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Planetární rotační disk potažený karbidem tantalu

VeTek Semiconductor je přední výrobce a inovátor planetárních rotačních disků potažených karbidem tantalu v Číně. Již mnoho let se specializujeme na keramické povlaky. Naše produkty mají vysokou čistotu a odolnost vůči vysokým teplotám. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Čína.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Nosič grafitových plátků potažený TaC

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem nosičů grafitových destiček potažených TaC v Číně. Již mnoho let se specializujeme na potahování SiC a TaC. Náš nosič grafitových destiček potažený TaC má vyšší teplotní odolnost a odolnost proti opotřebení. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

<...4 5 6 7 8 >

Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu tantalu v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.