> produkty > Povlak z karbidu tantalu

produkty

Nové produkty

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobce, dodavatel, továrna

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní nabídky produktů patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlána stát se inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouDefektní prstenec s povlakem z karbidu tantalu, kroužek s povlakem TaC, půlměsícové díly s povlakem TaC, planetární rotační disk s povlakem z karbidu tantalu (Aixtron G10), kelímek s povlakem TaC; Kroužky potažené TaC; porézní grafit potažený TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodicí kroužek potažený TaC; TaC deska potažená karbidem tantalu; Susceptor destičky potažený TaC; TaC povlakový kroužek; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

Teplotní stabilita

Ultra vysoká čistota

Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

Odolnost vůči tepelným zásobám

Silná přilnavost ke grafitu

Konformní pokrytí povlakem

Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

Wafer carrier

Indukční topný susceptor

Odporové topné těleso

Satelitní disk

Sprchová hlavice

Vodící kroužek

LED Epi přijímač

Vstřikovací tryska

Maskovací kroužek

Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

TaC coating EDX data

Data krystalové struktury povlaku TaC

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC Deska potažená TaC Rotační deska povlaku TaC Susceptor povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

Porézní grafit s povlakem TaC

Porézní grafit s povlakem TaC je pokročilý materiál pro zpracování polovodičů od společnosti VeTek Semiconductor. Porézní grafit s povlakem TaC kombinuje výhody povlaku porézního grafitu a karbidu tantalu (TaC) s dobrou tepelnou vodivostí a propustností pro plyny. Společnost VeTek Semiconductor se zavázala poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Povlak z karbidu tantalu

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem povlaků z karbidu tantalu v Číně. Zaměřujeme se na poskytování vysoce čistých produktů z karbidu tantalu odolných vůči vysokým teplotám. Náš kryt potažený karbidem tantalu má vynikající výkon a spolehlivost a může účinně chránit materiály v extrémně vysokých teplotách a korozivních prostředích. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Deflektorový kroužek potažený TaC

Deflektorový kroužek TaC Coated Deflector společnosti VeTek Semiconductor je vysoce specializovaná součást navržená pro procesy růstu krystalů SiC. Povlak TaC poskytuje vynikající odolnost vůči vysokým teplotám a chemickou inertnost, aby se vyrovnal s vysokými teplotami a korozivním prostředím během procesu růstu krystalů. To zajišťuje stabilní výkon a dlouhou životnost součásti, snižuje frekvenci výměny a prostoje. Jsme odhodláni poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Trubka potažená karbidem tantalu pro růst krystalů

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem společnosti Crystal Growth v Číně, potaženým karbidem tantalu. Již mnoho let se specializujeme na keramické povlaky. Naše produkty mají vysokou čistotu a odolnost vůči vysokým teplotám. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Kroužek potažený TaC pro SiC epitaxní reaktor

VeTek Semiconductor je rozsáhlý kroužek s povlakem TaC pro výrobce a inovátora SiC epitaxního reaktoru v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakování TaC. Naše produkty mají vysokou čistotu, vysokou stabilitu, vynikající odolnost proti korozi, vysokou pevnost vazby. stát se vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Díl Halfmoon potažený karbidem tantalu pro LPE

VeTek Semiconductor je velkorozměrový díl Halfmoon s povlakem z karbidu tantalu pro výrobce LPE a inovátora v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakování TaC. Naše produkty vydrží teploty nad 2000 stupňů Celsia, prodlužují životnost spotřebního materiálu. Těšíme se stát se vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

<...4 5 6 7 8 >

Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu tantalu v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.