> produkty > Povlak z karbidu tantalu

produkty

Nové produkty

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobce, dodavatel, továrna

VeTek semiconductor je předním výrobcem povlakových materiálů z karbidu tantalu pro polovodičový průmysl. Mezi naše hlavní nabídky produktů patří CVD povlakové díly z karbidu tantalu, slinuté povlakové díly TaC pro růst krystalů SiC nebo proces epitaxe polovodičů. VeTek Semiconductor prošel ISO9001 a má dobrou kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlána stát se inovátorem v průmyslu povlakování karbidu tantalu prostřednictvím pokračujícího výzkumu a vývoje iterativních technologií.

Hlavními produkty jsouDefektní prstenec s povlakem z karbidu tantalu, kroužek s povlakem TaC, půlměsícové díly s povlakem TaC, planetární rotační disk s povlakem z karbidu tantalu (Aixtron G10), kelímek s povlakem TaC; Kroužky potažené TaC; porézní grafit potažený TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodicí kroužek potažený TaC; TaC deska potažená karbidem tantalu; Susceptor destičky potažený TaC; TaC povlakový kroužek; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatd., čistota je nižší než 5 ppm, může splnit požadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit vzniká potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Výhoda je znázorněna na obrázku níže:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornost díky svému vysokému bodu tání až 3880 °C, vynikající mechanické pevnosti, tvrdosti a odolnosti vůči tepelným šokům, což z něj činí atraktivní alternativu k procesům epitaxe sloučenin polovodičů s vyššími teplotními požadavky, jako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxní proces. Má také široké uplatnění v PVT metodě SiC procesu růstu krystalů.

Klíčové vlastnosti:

Teplotní stabilita

Ultra vysoká čistota

Odolnost vůči H2, NH3, SiH4, Si

Odolnost vůči tepelným zásobám

Silná přilnavost ke grafitu

Konformní pokrytí povlakem

Velikost do průměru 750 mm (jediný výrobce v Číně dosahuje této velikosti)

Aplikace:

Wafer carrier

Indukční topný susceptor

Odporové topné těleso

Satelitní disk

Sprchová hlavice

Vodící kroužek

LED Epi přijímač

Vstřikovací tryska

Maskovací kroužek

Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickém průřezu:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Data EDX povlaku TaC：

TaC coating EDX data

Data krystalové struktury povlaku TaC

Živel	Atomové procento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Průměrný
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetární disk s povlakem TaC Deska potažená TaC Rotační deska povlaku TaC Susceptor povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakovací kroužek TaC povlaková deska

View as

Třílistý kroužek potažený TaC

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem prstenů se třemi okvětními lístky s povlakem TaC v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakování TaC a SiC. Naše výrobky mají odolnost proti korozi, vysokou pevnost. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Sklíčidlo potažené karbidem tantalu

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem sklíčidla s povlakem karbidu tantalu v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakování TaC. Naše produkty mají vysokou čistotu a odolnost vůči vysokým teplotám až do 2000℃. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Kryt potažený karbidem tantalu

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem krytu s povlakem z karbidu tantalu v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakování TaC a SiC. Naše výrobky mají odolnost proti korozi, vysokou pevnost. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon

VeTek Semiconductor je předním dodavatelem přizpůsobeného Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon v Číně, který se již mnoho let specializuje na pokročilé materiály. Náš Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon je speciálně navržen pro epitaxní zařízení SiC a zajišťuje vynikající výkon. Vyrobeno z ultračistého importovaného grafitu, nabízí spolehlivost a odolnost. Navštivte naši továrnu v Číně a prozkoumejte náš vysoce kvalitní Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon z první ruky.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Horní část půlměsíce SiC Coated

VeTek Semiconductor je předním dodavatelem přizpůsobených Upper Halfmoon Part SiC potažených v Číně, specializující se na pokročilé materiály již více než 20 let. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC potažená je speciálně navržena pro SiC epitaxní zařízení, která slouží jako klíčová součást v reakční komoře. Vyrobeno z ultračistého, polovodičového grafitu, zajišťuje vynikající výkon. Zveme vás k návštěvě naší továrny v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Nosič epitaxní destičky z karbidu křemíku

VeTek Semiconductor je předním přizpůsobeným dodavatelem nosičů epitaxních plátků z karbidu křemíku v Číně. Již více než 20 let se specializujeme na pokročilý materiál. Nabízíme nosič epitaxních plátků z karbidu křemíku pro přenášení substrátu SiC, rostoucí epitaxní vrstvu SiC v epitaxním reaktoru SiC. Tento nosič epitaxní destičky z karbidu křemíku je důležitou součástí půlměsícové části s povlakem SiC, odolnost proti vysoké teplotě, odolnost proti oxidaci, odolnost proti opotřebení. Vítáme vás na návštěvě naší továrny v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

<...4 5 6 7 8 >

Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu tantalu v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.