Halfmoon potažený karbidem tantalu TaC

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a dodavatelem v Číně pro Tantal Carbide TaC Coated Halfmoon, specializujeme se na výzkum a vývoj a výrobu, dokážeme dobře kontrolovat kvalitu a nabídnout konkurenceschopnou cenu. Jste vítáni k návštěvě naší továrny pro další diskusi o dlouhodobé spolupráci.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

VeTek Semiconductor je profesionální čínský výrobce a dodavatel Halfmoon potažený karbidem tantalu TaC. VeTek Semiconductor nabízí Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, který hraje podpůrnou a transportní roli v epitaxním procesu karbidu křemíku, nejenže podpírá substrát, ale také poskytuje plochý základ, který umožňuje, aby na něm epitaxe rostla rovnoměrně.

Kvalita a výkon půlměsícové části přímo ovlivňují kvalitu a výkon waferu během epitaxního procesu z karbidu křemíku. Proto je pro úspěch epitaxního procesu SiC rozhodující návrh a výběr vhodné části půlměsíce. Tantal Carbide TaC Coated Halfmoon vyrobený společností VeTek Semiconductor může zvýšit svou odolnost vůči vysokým teplotám, odolnost proti korozi a odolnost proti opotřebení, což výrazně zlepšuje stabilitu a životnost půlměsícové komponenty během procesu růstu.

Parametry povlaku z karbidu tantalu:

Fyzikální vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Specifická emisivita	0.3
Koeficient tepelné roztažnosti	6,3 10-6/K
Tvrdost (HK)	2000 HK
Odpor	1×10-5 Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Velikost grafitu se mění	-10~-20um
Tloušťka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)