VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem prstenů se třemi okvětními lístky s povlakem TaC v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakování TaC a SiC. Naše výrobky mají odolnost proti korozi, vysokou pevnost. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
VeTek Semiconductor je profesionální čínský výrobce a dodavatel prstenců se třemi okvětními lístky potaženými TaC. Kroužek se třemi okvětními lístky s povlakem TaC se používá v depozičním systému Aixtron G10 pro složený polovodič, G10-GaN 150/200 mm vysoce výkonná epitaxe pro napájení GaN a RF aplikací.
VeTek Semiconductor TaC povlak je nová generace materiálu odolného vůči vysokým teplotám, s lepší stabilitou vůči vysokým teplotám než SiC, jako povlak odolný proti korozi, povlak odolný proti oxidaci, povlak odolný proti opotřebení, lze použít v prostředí nad 2000 ℃, široce používaný v letecký průmysl ultra-vysokoteplotních horkých částí, třetí generace růstu polovodičových monokrystalů a další obory.
1. Vysoká čistota, obsah nečistot < 5 ppm
2. Vysoká teplotní odolnost, odolnost proti korozi, vysoká hustota, vysoká hustota
3. Je chemicky inertní vůči amoniaku, vodíku, silanu a křemíku při vysoké teplotě a má dobrou tepelnou stabilitu.
4. Odolnost proti tepelným šokům, může urychlit pracovní cyklus
5. Silná přilnavost grafitu zajišťuje dlouhou životnost a nedochází k delaminaci povlaku.
6. Přísné rozměrové tolerance.
Hlavní aplikace:
1. Epitaxní růst
2. Růst monokrystalu
3. Odklon vysokoteplotní koroze
4. Tryska odolná vysokým teplotám a oxidaci
5. Lopatky plynové turbíny
Fyzikální vlastnosti povlaku TaC | |
Hustota | 14,3 (g/cm³) |
Specifická emisivita | 0.3 |
Koeficient tepelné roztažnosti | 6,3 10-6/K |
Tvrdost (HK) | 2000 HK |
Odpor | 1×10-5 Ohm*cm |
Tepelná stabilita | <2500 ℃ |
Velikost grafitu se mění | -10~-20um |
Tloušťka povlaku | ≥20um typická hodnota (35um±10um) |