Sklíčidlo z karbidu křemíku

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck využívá vynikající vlastnosti materiálů z karbidu křemíku ke splnění přísných požadavků na výrobu polovodičů, zejména při zpracování polovodičů, které vyžaduje extrémně vysokou přesnost a spolehlivost.

V procesu zpracování polovodičůKarbid křemíkumá vynikající odolnost vůči vysokým teplotám (může pracovat stabilně až do 1400 °C), nízkou vodivost (SiC má relativně nízkou vodivost, typicky 10^^-3S/m) a nízký koeficient tepelné roztažnosti (asi 4,0 × 10^^-6/°C), což je nepostradatelný a důležitý materiál, zvláště vhodný pro výrobu sklíčidla z karbidu křemíku.

Běhemproces epitaxního růstu, je na substrát nanesena tenká vrstva polovodičového materiálu, která vyžaduje absolutní stabilitu od plátku, aby byla zajištěna rovnoměrná a vysoce kvalitní vrstva nanášení filmu. Vakuové sklíčidlo SiC toho dosahuje vytvořením pevného, ​​konzistentního vakuového držení, aby se zabránilo jakémukoli pohybu nebo deformaci destičky.

Sklíčidlo z karbidu křemíku také nabízí vynikající odolnost proti tepelným šokům. Rychlé změny teploty jsou běžné při výrobě polovodičů a materiály, které tyto výkyvy nevydrží, mohou prasknout, ohnout se nebo selhat. Karbid křemíku má nízký koeficient tepelné roztažnosti a dokáže si zachovat svůj tvar a funkci i při drastických změnách teploty, což zajišťuje, že plátek zůstane během procesu epitaxe bezpečný bez pohybu nebo nesprávného vyrovnání.

Navíc,proces epitaxečasto zahrnuje reaktivní plyny a další korozivní chemikálie. Chemická inertnost sklíčidla SiC Wafer Chuck zajišťuje, že není ovlivněno těmito drsnými prostředími, zachovává si svůj výkon a prodlužuje jeho životnost. Tato chemická odolnost nejen snižuje frekvenci výměny Wafer Chuck, ale také zajišťuje konzistentní výkon produktu během více výrobních cyklů, což pomáhá zlepšit celkovou účinnost a nákladovou efektivitu procesu výroby polovodičů.

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a dodavatelem produktů Silicon Carbide Wafer Chuck v Číně. Můžeme zajistit různé druhy produktů Chuck jako napřPorézní SiC keramické sklíčidlo, Porézní vakuové sklíčidlo SiC, Porézní keramické vakuové sklíčidloaSklíčidlo potažené TaC, atd. VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat pokročilé technologie a produktová řešení pro polovodičový průmysl. Upřímně doufáme, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

SEM DATA OF CVDKRYSTALOVÁ STRUKTURA SIC FILMU：

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Wafer Chuck Shock Shops：