Grafitové topné těleso Hot Zone

Grafitové ohřívače VeTek Semiconductor Hot Zone jsou navrženy tak, aby zvládly extrémní podmínky ve vysokoteplotních pecích. Ohřívače jsou schopny odolat drsnému prostředí, které se běžně vyskytuje při vysokoteplotním zpracování, v závislosti na konkrétních vlastnostech produktu uvedených níže.

Rovnoměrné rozložení teploty: Grafitový ohřívač Hot Zone je známý svými vynikajícími rovnoměrnými charakteristikami ohřevu díky dokonalé kombinaci vysoce přesného výběru materiálu a přesné technologie zpracování. Taková stejnoměrnost zajišťuje hladké rozložení teploty po celém topném povrchu, účinně snižuje nerovnoměrné zpracování plátků v důsledku teplotních gradientů, čímž zlepšuje výtěžnost produktu a konzistenci výkonu zařízení.

Vynikající odolnost proti korozi: grafitový ohřívač pro horkou zónu vykazuje silnou odolnost vůči různým korozivním plynům a chemikáliím, které se vyskytují při vysokoteplotních procesech výroby polovodičů. Přirozená inertnost grafitových materiálů umožňuje grafitovým ohřívačům udržet si dlouhodobou stabilitu v náročných prostředích, což výrazně snižuje riziko kontaminace a prodlužuje životnost zařízení.

Vynikající antioxidační výkon: Ve srovnání s tradičními grafitovými materiály má grafitový ohřívač Hot Zone stále vynikající antioxidační schopnost při vysokých teplotách. Tato vlastnost je zásadní pro zabránění oxidativnímu poškození povrchu ohřívače během vysokoteplotního zpracování a pro zamezení vzniku kontaminace částicemi ve zpracovatelské komoře, což zajišťuje nepřetržitý účinný provoz zařízení.

Ultra vysoká chemická čistota: Po přísném zpracování dosáhl náš grafitový ohřívač extrémně vysoké úrovně chemické čistoty, čímž účinně zabraňuje vnášení škodlivých nečistot do prostředí zpracování polovodičů. Tato čistota je rozhodující pro ochranu integrity přesných polovodičových materiálů a výrobu zařízení, která splňují očekávané elektrické a optické vlastnosti.

Vysoká mechanická pevnost a stabilita: Grafitové topné těleso VeTekSemi Hot Zone má vynikající mechanickou pevnost a rozměrovou stabilitu, zachovává strukturální integritu i za provozních podmínek při vysokých teplotách. Ať už čelíte častým tepelným cyklům nebo silnému mechanickému namáhání, grafitové ohřívače pro horkou zónu si zachovávají svou robustnost a poskytují pevnou a spolehlivou podporu pro drsná prostředí pro zpracování polovodičů.

Kromě toho společnost VeTeksemi nabízí také různé vlastní velikosti a konfigurace grafitových ohřívačů, které splňují potřeby různých výrobních procesů polovodičů. jako napřsic keramický povlak grafitohřívač、Ohřívač VEECO MOCVD, atd.  VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat pokročilé a přizpůsobitelné technologie a řešení produktů pro polovodičový průmysl. Upřímně doufáme, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.