Karbid křemíku keramický povlak grafitové topné těleso

VeTek Semiconductor Ohřívač s keramickým povlakem z karbidu křemíkukombinuje vynikající elektrickou a tepelnou vodivost grafitu s vysokou teplotní odolností, odolností proti korozi a odolností proti opotřebení křemíkového uhlíkového keramického povlaku a je navržen pro drsná prostředí výroby polovodičů. 

Grafitové topné těleso s keramickým povlakem z karbidu křemíkuse používá hlavně v zařízeních pro vakuové nanášení (odpařování) a běžně používané metody jsou PCD (Plasma Chemical Drying) a PVD (Physical vapor deposition). Tento produkt sehrál důležitou roli při podpoře technologického pokroku a zlepšení efektivity výroby v polovodičovém průmyslu.Upřímně se těšíme na další spolupráci s vámi.

Materiálové a konstrukční vlastnosti keramického grafitového ohřívače z karbidu křemíku jsou následující:

Grafitový substrát: Grafit je známý svou vysokou tepelnou vodivostí a nízkým koeficientem tepelné roztažnosti. Dokáže rychle reagovat na změny teploty a udržovat strukturální stabilitu při vysokých teplotách.

Silikonový uhlíkový keramický povlak: Povlak SiC je rovnoměrně nanesen na grafitový povrch pomocí chemického napařování nebo jiných pokročilých procesů. SiC má extrémně vysokou tvrdost a odolnost proti chemické korozi, což může chránit grafitový substrát před vysokoteplotní oxidací a korozivním prostředím.

Rozhoduje speciální konstrukční design výrobku s keramickým povlakem z karbidu křemíkunenahraditelné produktové výhody tohoto produktu v procesu zpracování polovodičů:

Efektivní a rovnoměrné vytápění:

Tepelná vodivost: Vysoká tepelná vodivost grafitu umožňuje ohřívači rychle dosáhnout a udržet požadovanou teplotu a povlak SiC zajišťuje rovnoměrné rozložení tepla. To je zvláště důležité pro polovodičové procesy, které vyžadují přesné řízení teploty, jako je rychlé tepelné zpracování (RTP) a chemická depozice z plynné fáze (CVD).

Rovnoměrnost teploty: Díky rovnoměrnému rozložení tepla může ohřívač s keramickým povlakem a grafitem z karbidu křemíku účinně snižovat tepelné namáhání a teplotní gradient, čímž zajišťuje konzistenci a stabilitu kvality polovodičových destiček během procesu ohřevu.

Antikorozní ochrana:

Chemická odolnost: Odolnost povlaku SiC proti chemické korozi umožňuje ohřívači pracovat stabilně a po dlouhou dobu v prostředí s korozivními plyny a chemikáliemi, čímž se zabrání poškození grafitového substrátu. Tato vlastnost je zvláště kritická u procesů, jako je chemická depozice z plynné fáze (CVD) a plazmová depozice z plynné fáze (PECVD).

Odolnost proti oxidaci: Při vysokých teplotách může povlak SiC zabránit oxidaci grafitového substrátu, prodloužit životnost ohřívače a snížit frekvenci a náklady na údržbu zařízení.

Snižte kontaminaci částicemi:

Stabilita povrchu: Povlak SiC je nejen odolný proti opotřebení, ale také zabraňuje vypadávání částic z povrchu materiálu v důsledku tepelných cyklů nebo chemických reakcí, čímž se snižuje riziko kontaminace částicemi, ke kterému může dojít při výrobě polovodičů, a zajišťuje se vysoká čistota procesního prostředí.

Zlepšete spolehlivost a efektivitu procesů:

Design s dlouhou životností: Díky kombinaci mechanické pevnosti grafitu a odolnosti povlaku SiC proti opotřebení může grafitový ohřívač s keramickým povlakem z karbidu křemíku udržovat vysoce účinný provoz po dlouhou dobu v náročných procesních podmínkách, což výrazně zlepšuje celkovou spolehlivost zařízení.

Efektivní využití energie: Vysoká tepelná vodivost grafitu a vysokoteplotní stabilita SiC povlaku umožňují ohřívači snížit spotřebu energie a zároveň zlepšit přesnost regulace teploty, čímž se zlepšuje celková účinnost výroby polovodičů.

Základní fyzikální vlastnostiOhřívač s keramickým povlakem z karbidu křemíku:

VeTek SemiconductorOhřívač s keramickým povlakem z karbidu křemíkuobchody:

Přehled průmyslového řetězce epitaxe polovodičových čipů:

/jiný-proces