ohřívač keramického povlaku z karbidu křemíku

VeTek SemiconductorOhřívač keramického povlaku z karbidu křemíku je ohřívač navržený pro vysoké teploty a drsná prostředí. Nanáší vrstvu křemíkového uhlíkového keramického povlaku (SiC) na povrch topného tělesa, aby zařízení získalo vynikající tepelnou odolnost, odolnost proti korozi a tepelnou vodivost. 

Ohřívač s keramickým povlakem z karbidu křemíkuse používá hlavně ve vakuovém lakovacím (odpařovacím) zařízení. Běžně používané metody jsou PCD (Plasma Chemical Drying) a PVD (Physical vapor deposition), které jsou široce používány ve výrobě polovodičů a dalších vysoce náročných průmyslových aplikacích.

V kombinaci s vysoce výkonným designem povlaku keramického ohřívače karbidu křemíku,může poskytnout vynikající řešení ohřevu pro vysokoteplotní procesy.

Výborná tepelná vodivost: Materiál SiC má vynikající tepelnou vodivost, což zajišťuje, že ohřívač může dosáhnout rovnoměrného rozložení tepla v pracovní oblasti a snížit teplotní gradienty.

Zajistěte rovnoměrné rozložení tepla: Ohřívač keramického povlaku z karbidu křemíku využívá vysokou tepelnou vodivost materiálu SiC k dosažení rovnoměrného rozložení teploty v celé oblasti ohřevu. To je zásadní pro zajištění jednotného tepelného zpracování polovodičových destiček v různých vysokoteplotních procesech, jako je rychlé tepelné zpracování (RTP), difúze a oxidace, čímž se zabrání defektům produktu způsobeným místním přehřátím nebo nerovnoměrnou teplotou.

Tolerance vysokých teplot: Povlak SiC umožňuje ohřívači odolávat extrémně vysokým teplotám, typicky až 1600 °C, vhodné pro různé vysokoteplotní procesy zpracování.

Zlepšete tepelnou odolnost: Protože povlak odolává extrémně vysokým teplotám, funguje dobře v procesech, které vyžadují dlouhodobý vysokoteplotní provoz. Například při procesech chemického nanášení z plynné fáze (CVD) může ohřívač keramického povlaku z karbidu křemíku zajistit dlouhodobý stabilní provoz zařízení při vysokých teplotách a udržovat konzistentní výkon ohřevu, čímž zlepšuje opakovatelnost a spolehlivost procesu.

Odolnost proti chemické korozi: Povlak SiC má extrémně vysokou odolnost vůči kyselinám, zásadám a korozivním plynům a může zůstat stabilní po dlouhou dobu v prostředí složité chemické atmosféry, čímž se prodlužuje životnost zařízení. 

Prodloužení životnosti zařízení: Povlak SiC má vynikající odolnost proti oxidaci a korozi a může účinně odolávat chemické erozi a oxidaci při vysokých teplotách. To je velmi důležité v procesu výroby polovodičů, zejména v prostředí, které zpracovává korozivní plyny a chemikálie. Ochranný účinek nátěru může výrazně prodloužit životnost ohřívače a snížit frekvenci výměny zařízení a náklady na údržbu.

Základní fyzikální vlastnosti keramického povlakového ohřívače z karbidu křemíku:

Obchody s keramickým povlakem VeTek Semiconductor z karbidu křemíku:

Přehled průmyslového řetězce epitaxe polovodičových čipů VeTek: