Keramický povlak z karbidu křemíku

Vetek Semiconductor Keramický povlak z karbidu křemíkuje vysoce výkonný ochranný povlak vyrobený z extrémně tvrdého a opotřebení odolného materiálu karbidu křemíku (SiC), který poskytuje vynikající chemickou odolnost proti korozi a vysokou teplotní stabilitu. Tyto vlastnosti jsou rozhodující při výrobě polovodičů, takže keramický povlak z karbidu křemíku je široce používán na klíčových součástech zařízení na výrobu polovodičů.

Specifickou roli, kterou hraje Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating při výrobě polovodičů, jenásledovně:

Zvyšte životnost zařízení: Keramický povlak z karbidu křemíku poskytuje vynikající povrchovou ochranu pro zařízení na výrobu polovodičů díky své extrémně vysoké tvrdosti a odolnosti proti opotřebení. Zejména ve vysokoteplotních a vysoce korozivních procesních prostředích, jako je chemická depozice z plynné fáze (CVD) a plazmové leptání, může keramický povlak z karbidu křemíku účinně zabránit poškození povrchu zařízení v důsledku chemické eroze nebo fyzického opotřebení, a tím výrazně prodloužit životnost zařízení. zařízení a snížení prostojů způsobených častou výměnou a údržbou.

Zlepšete čistotu procesu: V procesu výroby polovodičů může jakákoli drobná kontaminace způsobit vady produktu. Chemická inertnost keramického povlaku z karbidu křemíku umožňuje, aby zůstal stabilní za extrémních podmínek, zabraňuje materiálu v uvolňování částic nebo nečistot a zajišťuje čistotu prostředí během procesu. To je zvláště důležité pro výrobní kroky, které vyžadují vysokou přesnost a vysokou čistotu, jako je PECVD a iontová implantace.

Optimalizujte tepelný management: Při vysokoteplotním zpracování polovodičů, jako je rychlé tepelné zpracování (RTP) a oxidační procesy, umožňuje vysoká tepelná vodivost keramického povlaku z karbidu křemíku rovnoměrné rozložení teploty uvnitř zařízení. To pomáhá snižovat tepelné namáhání a deformace materiálu způsobené kolísáním teploty, čímž se zlepšuje přesnost a konzistence výroby produktu.

Podpora komplexního procesního prostředí: V procesech, které vyžadují komplexní řízení atmosféry, jako je ICP leptání a PSS leptací procesy, stabilita a odolnost proti oxidaci keramického ohřívače karbidu křemíku zajišťuje stabilní výkon zařízení v dlouhodobém provozu, snižuje riziko degradace materiálu nebo zařízení. poškození v důsledku změn prostředí.

Vetek Semiconductorse zaměřuje na výrobu a dodávky vysoce výkonnýchKeramický povlak z karbidu křemíkua je odhodlána poskytovat pokročilé technologie a produktová řešení pro polovodičový průmysl.Upřímně doufáme, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Základní fyzikální vlastnostiKeramický povlak z karbidu křemíku:

VeTek Semiconductor Keramický povlak z karbidu křemíku:

Přehled průmyslového řetězce epitaxe polovodičových čipů: