Čína Povlak z karbidu křemíku výrobce, dodavatel, továrna

VeTek Semiconductor se specializuje na výrobu ultračistých produktů s povlakem z karbidu křemíku, tyto povlaky jsou navrženy pro aplikaci na čištěný grafit, keramiku a součásti žáruvzdorných kovů.

Naše vysoce čisté povlaky jsou primárně určeny pro použití v polovodičovém a elektronickém průmyslu. Slouží jako ochranná vrstva pro nosiče plátků, susceptory a topné prvky a chrání je před korozivním a reaktivním prostředím, které se vyskytuje v procesech, jako je MOCVD a EPI. Tyto procesy jsou nedílnou součástí zpracování plátků a výroby zařízení. Kromě toho jsou naše povlaky vhodné pro aplikace ve vakuových pecích a ohřevu vzorků, kde se setkáváme s vysokým vakuem, reaktivním a kyslíkovým prostředím.

Ve společnosti VeTek Semiconductor nabízíme komplexní řešení s našimi pokročilými možnostmi strojírny. To nám umožňuje vyrábět základní komponenty s použitím grafitu, keramiky nebo žáruvzdorných kovů a nanášet keramické povlaky SiC nebo TaC ve firmě. Poskytujeme také lakovací služby pro díly dodané zákazníkem, což zajišťuje flexibilitu pro splnění různých potřeb.

Naše produkty z karbidu křemíku jsou široce používány v epitaxi Si, epitaxi SiC, systému MOCVD, procesu RTP/RTA, procesu leptání, procesu leptání ICP/PSS, procesu různých typů LED, včetně modré a zelené LED, UV LED a hlubokého UV LED atd., která je přizpůsobena zařízení od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI a tak dále.

Části reaktoru, které umíme:

Povlak z karbidu křemíku má několik jedinečných výhod:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametr povlaku VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating:

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku
Vlastnictví	Typická hodnota
Krystalová struktura	FCC β fáze polykrystalická, převážně (111) orientovaná
Hustota	3,21 g/cm³
Tvrdost	Tvrdost 2500 Vickers（zátěž 500g）
Velikost zrna	2~10μm
Chemická čistota	99,99995 %
Tepelná kapacita	640 J·kg-1·K-1
Teplota sublimace	2700 ℃
Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4-bod
Youngův modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃
Tepelná vodivost	300W·m-1·K-1
Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

SiC Coated Pedestal

Vetek Semiconductor je profesionál ve výrobě CVD SiC povlaku, TaC povlaku na grafitu a materiálu z karbidu křemíku. Poskytujeme produkty OEM a ODM, jako je podstavec s povlakem SiC, nosič plátků, sklíčidlo plátků, zásobník nosiče plátků, planetový disk a tak dále. Díky čistému prostoru a čisticímu zařízení na úrovni 1000 vám můžeme poskytnout výrobky s nečistotou pod 5 ppm. Těšíme se na jednání brzy od vás.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Vstupní kroužek povlaku SiC

Vetek Semiconductor vyniká v úzké spolupráci s klienty při vytváření návrhů na míru pro vstupní kroužek SiC Coating šitý na míru konkrétním potřebám. Tyto vstupní kroužky s povlakem SiC jsou pečlivě navrženy pro různé aplikace, jako je zařízení CVD SiC a epitaxe karbidu křemíku. Pro přizpůsobená řešení SiC Coating Inlet Ring se neváhejte obrátit na Vetek Semiconductor pro personalizovanou pomoc.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Opěrný kroužek potažený SiC

VeTek Semiconductor je profesionální čínský výrobce a dodavatel, který vyrábí hlavně nosné kroužky potažené SiC, CVD povlaky z karbidu křemíku (SiC), povlaky z karbidu tantalu (TaC), hromadné SiC, SiC prášky a vysoce čisté SiC materiály. Jsme odhodláni poskytovat dokonalou technickou podporu a špičková produktová řešení pro polovodičový průmysl, kontaktujte nás.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Oplatka Chuck

Sklíčidlo Vetek Semiconductor hraje klíčovou roli ve výrobě polovodičů a umožňuje rychlý a vysoce kvalitní výstup. Díky vlastní výrobě, konkurenceschopným cenám a robustní podpoře výzkumu a vývoje vyniká Vetek Semiconductor ve službách OEM/ODM pro přesné komponenty. Těšíme se na váš dotaz.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Planetární susceptor ALD

Proces ALD, znamená proces epitaxe atomové vrstvy. Výrobci systémů Vetek Semiconductor a ALD vyvinuli a vyrobili planetární susceptory ALD potažené SiC, které splňují vysoké požadavky procesu ALD na rovnoměrné rozložení proudu vzduchu po substrátu. Vysoce čistý CVD SiC povlak společnosti Vetek Semiconductor zároveň zajišťuje čistotu procesu. Vítejte na diskuzi o spolupráci s námi.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

SiC povlakový susceptor

Vetek Semiconductor se zaměřuje na výzkum, vývoj a industrializaci CVD SiC povlaků a CVD TaC povlaků. Vezmeme-li jako příklad povlakový susceptor SiC, produkt je vysoce zpracován s vysokou přesností, hustým povlakem CVD SIC, odolností vůči vysokým teplotám a silnou odolností proti korozi. Dotaz na nás je vítán.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

<...3 4 5 6 7...11 >

Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu křemíku v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu křemíku vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.