CVD SiC povlak Epitaxní susceptor

VeTek Semiconductor's CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor je přesně navržený nástroj určený pro manipulaci a zpracování polovodičových plátků. Tento epitaxní susceptor SiC Coating hraje zásadní roli při podpoře růstu tenkých filmů, epivrstvy a dalších povlaků a může přesně řídit teplotu a vlastnosti materiálu. Vítáme vaše další dotazy.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor je typMOCVD LED Epi Suceptor, který hraje ústřední roli v CVD reaktoru. Jako Epi Susceptor není pouze zdrojem tepla, ale také poskytuje stabilní nosnou platformu pro substrát během procesu nanášení.SiC povlakmůže účinně snížit oxidaci a kontaminaci grafitového susceptoru v prostředí s vysokou teplotou, a tím zajistit vysokou čistotu uloženého materiálu.

Základnífyzikální vlastnosti povlaku CVD SiC:

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku
Vlastnictví	Typická hodnota
Krystalová struktura	FCC β fáze polykrystalická, převážně (111) orientovaná
Hustota	3,21 g/cm³
Tvrdost	Tvrdost 2500 Vickers（zátěž 500g）
Velikost zrna	2~10μm
Chemická čistota	99,99995 %
Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
Teplota sublimace	2700 ℃
Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4-bod
Youngův modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃
Tepelná vodivost	300W·m^-1·K^-1
Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10^-6K^-1

CVD SiC povlak Epitaxe Susceptor Výhody produktu:

● Přesná depozice: Pomocí CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor můžete dosáhnout přesně řízeného nanášení tenkých filmů a povlaků, abyste získali vysoce kvalitní a opakovatelné výsledky.

● Snížená kontaminace: Povlak SiC minimalizuje riziko kontaminaceEpi Suceptorna bázi grafitu, zajišťující čistotu nanášeného materiálu.

● Trvanlivost: Povlak SiC zvyšuje odolnost grafitového epitaxního susceptoru proti oxidaci a chemickou korozi, čímž mu poskytuje delší životnost a vyšší spolehlivost.

VeTek Semiconductorse zavazuje poskytovat vysoce kvalitní produkty a konkurenceschopné ceny. Ať už jePokud EPI Receivernebo vysoce čistý grafitový EPI susceptor, můžeme vyhovět vašim potřebám. Těšíme se, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

VeTek SemiconductorCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Obchody s produkty: