Pancake susceptor potažený SiC pro 6'' destičky LPE PE3061S

VeTek Semiconductor je přední palačinkový susceptor potažený SiC pro výrobce a inovátor 6'' destiček LPE PE3061S v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakový materiál SiC. Nabízíme palačinkový susceptor potažený SiC navržený speciálně pro 6" destičky LPE PE3061S . Tento epitaxní susceptor se vyznačuje vysokou odolností proti korozi, dobrou tepelnou vodivostí, dobrou uniformitou. Vítáme vás na návštěvě naší továrny v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Jako profesionální výrobce by vám VeTek Semiconductor rád poskytl vysoce kvalitní palačinkový susceptor potažený SiC pro 6'' destičky LPE PE3061S.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor pro 6" wafery LPE PE3061S je kritické zařízení používané v procesech výroby polovodičů.

Pancake susceptor potažený SiC pro 6" destičky LPE PE3061S Vlastnosti produktu:

Vysokoteplotní stabilita: SiC vykazuje vynikající stabilitu při vysokých teplotách, zachovává si svou strukturu a výkon v prostředí s vysokou teplotou.

Vynikající tepelná vodivost: SiC má výjimečnou tepelnou vodivost, což umožňuje rychlý a rovnoměrný přenos tepla pro rychlý a rovnoměrný ohřev.

Odolnost proti korozi: SiC má vynikající chemickou stabilitu, odolává korozi a oxidaci v různých topných prostředích.

Rovnoměrné rozložení ohřevu: Nosič plátku potažený SiC zajišťuje rovnoměrné rozložení ohřevu a zajišťuje rovnoměrnou teplotu po povrchu plátku během ohřevu.

Vhodné pro výrobu polovodičů: Nosič Si epitaxy wafer je široce používán v procesech výroby polovodičů, zejména pro růst Si epitaxe a další procesy vysokoteplotního ohřevu.

Výhody produktu:

Zlepšená efektivita výroby: Susceptor na palačinky potažený SiC umožňuje rychlý a rovnoměrný ohřev, zkracuje dobu ohřevu a zvyšuje efektivitu výroby.

Zajištěná kvalita produktu: Rovnoměrná distribuce ohřevu zajišťuje konzistenci během zpracování oplatek, což vede ke zlepšení kvality produktu.

Prodloužená životnost zařízení: Materiál SiC nabízí vynikající tepelnou odolnost a chemickou stabilitu, což přispívá k delší životnosti palačinkového susceptoru.

Řešení na míru: Susceptor potažený SiC, nosič Si epitaxní destičky lze přizpůsobit různým velikostem a specifikacím na základě požadavků zákazníka.

SEM data and structure of CVD SIC films

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku:

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku
Vlastnictví	Typická hodnota
Krystalová struktura	FCC β fáze polykrystalická, převážně (111) orientovaná
Hustota	3,21 g/cm³
Tvrdost	Tvrdost 2500 Vickers（zátěž 500g）
Velikost zrna	2~10μm
Chemická čistota	99,99995 %
Tepelná kapacita	640 J·kg-1·K-1
Teplota sublimace	2700 ℃
Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4-bod
Youngův modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃
Tepelná vodivost	300W·m-1·K-1
Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10-6K-1

VeTek Semiconductor Production Shop

Přehled průmyslového řetězce epitaxe polovodičových čipů:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: Pancake susceptor potažený SiC pro LPE PE3061S 6'' oplatky, Čína, Výrobce, Dodavatel, Továrna, Na míru, Koupit, Pokročilý, Odolný, Vyrobeno v Číně

Štítek produktu

Související kategorie