SiC povlak půlměsícových grafitových dílů

V reakční komoře SiC epitaxní růstové pece jsou části z grafitu Halfmoon s povlakem SiC klíčovými součástmi pro optimalizaci distribuce toku plynu, řízení tepelného pole a rovnoměrnost reakční atmosféry. Obvykle jsou vyrobeny z povlaku SiCgrafit, navržený ve tvaru půlměsíce, umístěný v horní a spodní grafitové části reakční komory, obklopující plochu substrátu.

    •Horní půlměsíc grafitová část: instalován v horní části reakční komory, blízko vstupu plynu, zodpovědný za vedení reakčního plynu, aby proudil směrem k povrchu substrátu.

    •Spodní půlměsíc grafitová část: umístěný na dně reakční komory, obvykle pod držákem substrátu, používaný k řízení směru proudění plynu a optimalizaci tepelného pole a distribuce plynu na dně substrátu.

BěhemProces epitaxe SiC, horní půlměsícová grafitová část pomáhá vést proud plynu, aby byl rovnoměrně rozložen na substrátu, čímž brání plynu v přímém dopadu na povrch substrátu a způsobuje místní přehřívání nebo turbulenci proudění vzduchu. Spodní půlměsícová grafitová část umožňuje plynu plynulé proudění substrátem a následné vypouštění, přičemž zabraňuje turbulenci ovlivňovat rovnoměrnost růstu epitaxní vrstvy.

Pokud jde o regulaci tepelného pole, části s grafitem Halfmoon povlakem SiC pomáhají rovnoměrně distribuovat teplo v reakční komoře prostřednictvím tvaru a polohy. Horní půlměsícová grafitová část může účinně odrážet sálavé teplo ohřívače, aby byla zajištěna stabilní teplota nad substrátem. Podobnou roli má také spodní půlměsícová grafitová část, která pomáhá rovnoměrně distribuovat teplo pod substrát prostřednictvím vedení tepla, aby se zabránilo nadměrným teplotním rozdílům.

Díky povlaku SiC jsou součásti odolné vůči vysokým teplotám a jsou tepelně vodivé, takže půlměsícové části VeTek Semiconductor mají dlouhou životnost. Pečlivě navržené naše půlměsícové grafitové díly pro SiC epitaxi lze bez problémů integrovat do mnoha epitaxních reaktorů, což pomáhá zlepšit celkovou účinnost a spolehlivost procesu výroby polovodičů. Ať už váš SiC povlak Halfmoon grafitové díly potřebuje, kontaktujte prosím VeTek Semiconductor.

VeteksemSiC povlak halfmoon graphite díly obchody: