Nosič plátků s povlakem SiC

Vetek Semiconductor se specializuje na výrobu a dodávky vysoce výkonných nosičů plátků s povlakem SiC a je odhodlán poskytovat pokročilé technologie a produktová řešení pro polovodičový průmysl.

Při výrobě polovodičů je nosič povlaku SiC společnosti Vetek Semiconductor klíčovou součástí v zařízeních pro chemické nanášení z plynné fáze (CVD), zejména v zařízeních pro organické chemické nanášení z plynné fáze (MOCVD). Jeho hlavním úkolem je podporovat a zahřívat monokrystalický substrát tak, aby epitaxní vrstva mohla rovnoměrně růst. To je nezbytné pro výrobu vysoce kvalitních polovodičových součástek.

Korozní odolnost povlaku SiC je velmi dobrá, což může účinně chránit grafitový základ před korozivními plyny. To je důležité zejména v prostředí s vysokou teplotou a korozivním prostředím. Kromě toho je velmi vynikající také tepelná vodivost materiálu SiC, který dokáže rovnoměrně vést teplo a zajistit rovnoměrné rozložení teploty, čímž zlepšuje kvalitu růstu epitaxních materiálů.

Povlak SiC udržuje chemickou stabilitu při vysoké teplotě a korozivní atmosféře, čímž se vyhne problému selhání povlaku. Ještě důležitější je, že koeficient tepelné roztažnosti SiC je podobný jako u grafitu, což může zabránit problému odlupování povlaku v důsledku tepelné roztažnosti a smršťování a zajistit dlouhodobou stabilitu a spolehlivost povlaku.

Základní fyzikální vlastnostiNosič plátků s povlakem SiC:

Výrobní obchod:

Přehled průmyslového řetězce epitaxe polovodičových čipů: