Vodicí kroužek povlaku TaC

VeTek Semiconductor je profesionální čínský vodicí kroužek pro povlak TaC, kelímek pro povlak TaC, výrobce a dodavatel držáku semen.

TaC povlak Kelímek, držák semen a vodicí kroužek povlaku TaC v monokrystalické peci SiC a AIN byly pěstovány metodou PVT.

Když se k přípravě SiC použije fyzikální metoda transportu par (PVT), očkovací krystal je v oblasti s relativně nízkou teplotou a surovina SiC je v oblasti s relativně vysokou teplotou (nad 2400 ℃). Rozkladem suroviny vzniká SiXCy (především obsahující Si, SiC2, Si2C atd.). Materiál v parní fázi je transportován z oblasti s vysokou teplotou do zárodečného krystalu v oblasti s nízkou teplotou a nukleuje a roste. K vytvoření jediného krystalu. Materiály tepelného pole použité v tomto procesu, jako je kelímek, vodicí kroužek toku, držák zárodečných krystalů, by měly být odolné vůči vysoké teplotě a neznečišťují suroviny SiC a monokrystaly SiC. Podobně topné prvky při růstu monokrystalů AlN musí být odolné vůči páře Al, korozi N2 a musí mít vysokou eutektickou teplotu (a AlN), aby se zkrátila doba přípravy krystalů.

Bylo zjištěno, že SiC a AlN připravené grafitovými materiály s tepelným polem potaženým TaC byly čistší, téměř žádný uhlík (kyslík, dusík) a další nečistoty, méně okrajových defektů, menší měrný odpor v každé oblasti a hustota mikropórů a hustota leptací jamky byly výrazně snížena (po leptání KOH) a kvalita krystalu se výrazně zlepšila. Kromě toho je rychlost ztráty hmotnosti TaC kelímku téměř nulová, vzhled je nedestruktivní, lze jej recyklovat (životnost až 200 h), může zlepšit udržitelnost a účinnost takového monokrystalického přípravku.

Parametr produktu vodícího kroužku povlaku TaC:

Výrobní závody:

Přehled průmyslového řetězce epitaxe polovodičových čipů: