Porézní grafit potažený karbidem tantalu

Polovodičový porézní grafit s povlakem karbidu tantalu VeTek se stal krystalem karbidu křemíku (SiC) díky své extrémně vysoké teplotní odolnosti (bod tání kolem 3880 °C), vynikající tepelné stabilitě, mechanické pevnosti a chemické inertnosti v prostředí s vysokou teplotou. Nepostradatelný materiál v procesu růstu. Zejména jeho porézní struktura poskytuje mnoho technických výhodproces růstu krystalů. 

Následuje podrobná analýzaPorézní grafit potažený karbidem tantaluhlavní role:

● Zlepšete účinnost proudění plynu a přesně řiďte parametry procesu

Mikroporézní struktura porézního grafitu může podporovat rovnoměrnou distribuci reakčních plynů (jako je karbidový plyn a dusík), čímž optimalizuje atmosféru v reakční zóně. Tato charakteristika může účinně zabránit místním problémům s hromaděním plynu nebo turbulencí, zajistit, že krystaly SiC jsou rovnoměrně namáhány během procesu růstu a výrazně se sníží počet defektů. Porézní struktura zároveň umožňuje přesné nastavení gradientů tlaku plynu, dále optimalizuje rychlost růstu krystalů a zlepšuje konzistenci produktu.

●  Snižuje akumulaci tepelného napětí a zlepšuje integritu krystalů

Při vysokoteplotních provozech elastické vlastnosti porézního karbidu tantalu (TaC) významně zmírňují koncentrace tepelného napětí způsobené teplotními rozdíly. Tato schopnost je zvláště důležitá při pěstování krystalů SiC, čímž se snižuje riziko vzniku tepelných trhlin, čímž se zlepšuje integrita krystalové struktury a stabilita zpracování.

●  Optimalizujte distribuci tepla a zvyšte účinnost využití energie

Povlak z karbidu tantalu nejenže dodává poréznímu grafitu vyšší tepelnou vodivost, ale jeho porézní vlastnosti mohou také distribuovat teplo rovnoměrně, což zajišťuje vysoce konzistentní rozložení teploty v reakční oblasti. Toto jednotné tepelné řízení je základní podmínkou pro výrobu vysoce čistých krystalů SiC. Může také výrazně zlepšit účinnost vytápění, snížit spotřebu energie a učinit výrobní proces ekonomičtějším a efektivnější.

●  Zvyšuje odolnost proti korozi a prodlužuje životnost součástí

Plyny a vedlejší produkty v prostředí s vysokou teplotou (jako je vodík nebo parní fáze karbidu křemíku) mohou způsobit těžkou korozi materiálů. TaC Coating poskytuje vynikající chemickou bariéru pro porézní grafit, výrazně snižuje rychlost koroze součásti, čímž prodlužuje její životnost. Kromě toho povlak zajišťuje dlouhodobou stabilitu porézní struktury a zajišťuje, že nejsou ovlivněny vlastnosti přenosu plynu.

●  Účinně blokuje difúzi nečistot a zajišťuje křišťálovou čistotu

Nepotažená grafitová matrice může uvolňovat stopová množství nečistot a povlak TaC působí jako izolační bariéra, která zabraňuje těmto nečistotám difundovat do krystalu SiC ve vysokoteplotním prostředí. Tento stínící efekt je rozhodující pro zlepšení krystalové čistoty a pomáhá splnit přísné požadavky polovodičového průmyslu na vysoce kvalitní materiály SiC.

VeTek polovodičový porézní grafit potažený karbidem tantalu výrazně zlepšuje efektivitu procesu a kvalitu krystalů optimalizací toku plynu, snížením tepelného namáhání, zlepšením tepelné rovnoměrnosti, zvýšením odolnosti proti korozi a inhibicí difúze nečistot během procesu růstu krystalů SiC. Použití tohoto materiálu zajišťuje nejen vysokou přesnost a čistotu ve výrobě, ale také výrazně snižuje provozní náklady, což z něj činí důležitý pilíř v moderní výrobě polovodičů.

Ještě důležitější je, že společnost VeTeksemi se již dlouho zavázala poskytovat pokročilé technologie a produktová řešení pro průmysl výroby polovodičů a podporuje přizpůsobené služby produktů z porézního grafitu potaženého karbidem tantalu. Upřímně se těšíme, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Fyzikální vlastnosti povlaku karbidu tantalu

Výrobní závody na výrobu polovodičů VeTek s porézním grafitem potaženým karbidem tantalu