příjemce EPI

Susceptor EPI společnosti VeTek Semiconductor je navržen pro náročné aplikace epitaxních zařízení. Jeho grafitová struktura potažená vysoce čistým karbidem křemíku (SiC) nabízí vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epitaxní vrstvy a dlouhotrvající chemickou odolnost. Těšíme se na spolupráci s vámi.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

VeTek Semiconductor je přední profesionální čínský výrobce EPI přijímačů, planetárních přijímačů ALD a grafitových přijímačů s povlakem TaC. a náš EPI susceptor je důležitou součástíepitaxní růstV procesu výroby polovodičů. Jeho hlavní funkcí je podpírat a ohřívat oplatku tak, aby na povrchu waferu mohla rovnoměrně narůst vysoce kvalitní epitaxní vrstva.

Susceptory EPI společnosti VeTek Semiconductors jsou obvykle vyrobeny z vysoce čistého grafitu a potaženy vrstvou karbidu křemíku (SiC).Tento design má následující klíčové výhody:

● Vysoká teplotní stabilita: Susceptor EPI může zůstat stabilní v prostředí s vysokou teplotou, což zajišťuje rovnoměrný růst epitaxní vrstvy.

● Odolnost proti korozi: Povlak SiC má vynikající odolnost proti korozi a může odolat erozi chemických plynů, čímž se prodlužuje životnost vaničky.

● Tepelná vodivost: Vysoká tepelná vodivost materiálu SiC zajišťuje rovnoměrné rozložení teploty plátku během ohřevu, čímž zlepšuje kvalitu epitaxní vrstvy.

● Přizpůsobení koeficientu tepelné roztažnosti: Koeficient tepelné roztažnosti SiC je podobný jako u grafitu, takže nedochází k problémům s odlupováním povlaku v důsledku tepelné roztažnosti a smršťování.