Susceptor sudu potažený SiC

VeTek Semiconductor nabízí komplexní sadu komponentních řešení pro LPE silikonové epitaxní reakční komory, které poskytují dlouhou životnost, stabilní kvalitu a zlepšenou výtěžnost epitaxní vrstvy. Náš produkt, jako je SiC Coated Barrel Susceptor, získal zpětnou vazbu od zákazníků. Poskytujeme také technickou podporu pro Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy a další. Neváhejte se zeptat na informace o ceně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

VeTek Semiconductor je přední čínský výrobce, dodavatel a vývozce povlaků SiC a povlaků TaC. Dodržování snahy o dokonalou kvalitu výrobků, takže náš SiC Coated Barrel Susceptor byl spokojen mnoha zákazníky. Extrémní design, kvalitní suroviny, vysoký výkon a konkurenceschopná cena jsou to, co chce každý zákazník, a to je také to, co vám můžeme nabídnout. Samozřejmě také zásadní je náš dokonalý poprodejní servis. Pokud máte zájem o naše služby SiC Coated Barrel Susceptor, můžete nás konzultovat již nyní, my vám včas odpovíme!

VeTek Semiconductor SiC Coated Barrel Susceptor se používá hlavně pro reaktory LPE Si EPI.

Silikonová epitaxe LPE (Liquid Phase Epitaxy) je běžně používaná technika polovodičového epitaxního růstu pro nanášení tenkých vrstev monokrystalického křemíku na křemíkové substráty. Je to metoda růstu v kapalné fázi založená na chemických reakcích v roztoku k dosažení růstu krystalů.

Základní princip LPE křemíkové epitaxe zahrnuje ponoření substrátu do roztoku obsahujícího požadovaný materiál, řízení teploty a složení roztoku, což umožňuje materiálu v roztoku růst jako monokrystalická křemíková vrstva na povrchu substrátu. Úpravou podmínek růstu a složení roztoku během epitaxního růstu lze dosáhnout požadované kvality krystalů, tloušťky a koncentrace dopingu.

LPE silikonová epitaxe nabízí několik charakteristik a výhod. Za prvé, může být prováděn při relativně nízkých teplotách, čímž se snižuje tepelné namáhání a difúze nečistot v materiálu. Za druhé, LPE silikonová epitaxe poskytuje vysokou stejnoměrnost a vynikající kvalitu krystalů, vhodnou pro výrobu vysoce výkonných polovodičových součástek. Technologie LPE navíc umožňuje růst složitých struktur, jako jsou vícevrstvé a heterostruktury.

V LPE silikonové epitaxi je SiC Coated Barrel Susceptor klíčovou epitaxní složkou. Obvykle se používá k uchycení a podpoře křemíkových substrátů potřebných pro epitaxní růst a zároveň poskytuje kontrolu teploty a atmosféry. Povlak SiC zvyšuje odolnost susceptoru při vysokých teplotách a chemickou stabilitu, čímž splňuje požadavky procesu epitaxního růstu. Použitím SiC Coated Barrel Susceptor lze zlepšit účinnost a konzistenci epitaxního růstu a zajistit růst vysoce kvalitních epitaxních vrstev.

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku:

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku
Vlastnictví	Typická hodnota
Krystalická struktura	FCC β fáze polykrystalická, převážně (111) orientovaná
Hustota	3,21 g/cm³
Tvrdost	Tvrdost 2500 Vickers（zátěž 500g）
Velikost zrna	2~10μm
Chemická čistota	99,99995 %
Tepelná kapacita	640 J·kg-1·K-1
Teplota sublimace	2700 ℃
Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4-bod
Youngův modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃
Tepelná vodivost	300W·m-1·K-1
Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10-6K-1