Čína Pevný karbid křemíku výrobce, dodavatel, továrna

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je důležitou keramickou součástí v zařízeních pro plazmové leptání, pevný karbid křemíku (CVD karbid křemíku) součástí leptacího zařízení patřízaostřovací kroužky, plynová sprchová hlavice, vanička, okrajové kroužky atd. Vzhledem k nízké reaktivitě a vodivosti pevného karbidu křemíku (CVD karbidu křemíku) na leptací plyny obsahující chlór a fluor je ideálním materiálem pro zařízení pro plazmové leptání, fokusační kroužky a další komponenty.

Například zaostřovací kroužek je důležitou součástí umístěnou vně plátku a v přímém kontaktu s plátkem, přivedením napětí na kroužek k zaostření plazmy procházející kroužkem, čímž se plazma soustředí na plátek, aby se zlepšila rovnoměrnost zpracování. Tradiční kroužek ostření je vyroben z křemíku popřkřemenvodivý křemík jako běžný materiál ohniskových kroužků, je téměř blízký vodivosti křemíkových plátků, ale nedostatkem je špatná odolnost proti leptání v plazmatu obsahujícím fluor, materiály pro leptací strojní součásti, které se často používají po určitou dobu, bude vážná jev koroze, který vážně snižuje jeho výrobní efektivitu.

SOlidový kroužek SiC FocusPracovní princip：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Srovnání zaostřovacího kroužku na bázi Si a zaostřovacího kroužku CVD SiC:

Porovnání zaostřovacího kroužku na bázi Si a zaostřovacího kroužku CVD SiC
Položka	A	CVD SiC
Hustota (g/cm³)	2.33	3.21
Pásmová mezera (eV)	1.12	2.3
Tepelná vodivost (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul pružnosti (GPa)	150	440
Tvrdost (GPa)	11.4	24.5
Odolnost proti opotřebení a korozi	Chudý	Vynikající

VeTek Semiconductor nabízí pokročilé díly z pevného karbidu křemíku (CVD karbid křemíku), jako jsou zaostřovací kroužky SiC pro polovodičová zařízení. Naše pevné fokusační kroužky z karbidu křemíku předčí tradiční křemík z hlediska mechanické pevnosti, chemické odolnosti, tepelné vodivosti, odolnosti při vysokých teplotách a odolnosti proti iontovému leptání.

Mezi klíčové vlastnosti našich zaostřovacích kroužků SiC patří:

Vysoká hustota pro snížení rychlosti leptání.

Vynikající izolace s vysokou bandgap.

Vysoká tepelná vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti.

Vynikající odolnost proti mechanickému nárazu a elasticita.

Vysoká tvrdost, odolnost proti opotřebení a odolnost proti korozi.

Vyrobeno s použitímplazmou zesílená chemická depozice z plynné fáze (PECVD)naše zaostřovací kroužky SiC splňují rostoucí požadavky na leptací procesy při výrobě polovodičů. Jsou navrženy tak, aby vydržely vyšší plazmový výkon a energii, konkrétně vkapacitně vázaná plazma (CCP)systémy.

Zaměřovací kroužky SiC společnosti VeTek Semiconductor poskytují výjimečný výkon a spolehlivost při výrobě polovodičových zařízení. Vyberte si naše SiC komponenty pro vynikající kvalitu a účinnost.

View as

Nová technologie růstu SiC Crystal

Vysoce čistý karbid křemíku (SiC) společnosti Vetek Semiconductor vytvořený chemickou depozicí z plynné fáze (CVD) lze použít jako zdrojový materiál pro pěstování krystalů karbidu křemíku fyzikálním transportem par (PVT). V SiC Crystal Growth New Technology je zdrojový materiál vložen do kelímku a sublimován na zárodečný krystal. Použijte vyřazené CVD-SiC bloky k recyklaci materiálu jako zdroje pro pěstování krystalů SiC. Vítejte v navázání partnerství s námi.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Sprchová hlavice CVD SiC

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem CVD SiC sprchové hlavice v Číně. Již mnoho let se specializujeme na SiC materiál. CVD SiC sprchová hlavice je vybrána jako materiál fokusačního kroužku díky své vynikající termochemické stabilitě, vysoké mechanické pevnosti a odolnosti proti plazmová eroze. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

SiC sprchová hlavice

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem SiC sprchové hlavice v Číně. Již mnoho let se specializujeme na SiC materiál. SiC sprchová hlavice je vybrána jako materiál zaostřovacího kroužku díky své vynikající termochemické stabilitě, vysoké mechanické pevnosti a odolnosti proti plazmové erozi .Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Susceptor hlavně potažený SiC pro LPE PE2061S

VeTek Semiconductor je přední susceptor potažený SiC pro výrobce a inovátora LPE PE2061S v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakový materiál SiC. Nabízíme válcový susceptor potažený SiC navržený speciálně pro 4'' destičky LPE PE2061S. Tento susceptor je vybaven odolným povlakem z karbidu křemíku, který zvyšuje výkon a odolnost během procesu LPE (liquid Phase Epitaxy). Vítáme vás na návštěvě naší továrny v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Masivní plynová sprchová hlavice SiC

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem plynové sprchové hlavice z pevného SiC v Číně. Již mnoho let se specializujeme na polovodičový materiál. Víceporozitní design hlavice VeTek Semiconductor Solid SiC plynové sprchové hlavice zajišťuje, že teplo generované v procesu CVD může být rozptýleno , zajišťující rovnoměrné zahřívání substrátu. Těšíme se na dlouhodobé nastavení s vámi v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Proces chemického napařování Pevný okrajový kroužek SiC

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem pevných SiC kroužků v procesu chemického nanášení z plynné fáze v Číně. Již mnoho let se specializujeme na polovodičový materiál. Pevný okrajový kroužek VeTek Semiconductor nabízí zlepšenou rovnoměrnost leptání a přesné umístění plátků při použití s elektrostatickým sklíčidlem , zajišťující konzistentní a spolehlivé výsledky leptání. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

<1 2 3 >

Jako profesionální výrobce a dodavatel Pevný karbid křemíku v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Pevný karbid křemíku vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.