VeTek Semiconductor se specializuje na výrobu ultračistých produktů s povlakem z karbidu křemíku, tyto povlaky jsou navrženy pro aplikaci na čištěný grafit, keramiku a součásti žáruvzdorných kovů.
Naše vysoce čisté povlaky jsou primárně určeny pro použití v polovodičovém a elektronickém průmyslu. Slouží jako ochranná vrstva pro nosiče plátků, susceptory a topné prvky a chrání je před korozivním a reaktivním prostředím, které se vyskytuje v procesech, jako je MOCVD a EPI. Tyto procesy jsou nedílnou součástí zpracování plátků a výroby zařízení. Kromě toho jsou naše povlaky vhodné pro aplikace ve vakuových pecích a ohřevu vzorků, kde se setkáváme s vysokým vakuem, reaktivním a kyslíkovým prostředím.
Ve společnosti VeTek Semiconductor nabízíme komplexní řešení s našimi pokročilými možnostmi strojírny. To nám umožňuje vyrábět základní komponenty s použitím grafitu, keramiky nebo žáruvzdorných kovů a nanášet keramické povlaky SiC nebo TaC ve firmě. Poskytujeme také lakovací služby pro díly dodané zákazníkem, což zajišťuje flexibilitu pro splnění různých potřeb.
Naše produkty z karbidu křemíku jsou široce používány v epitaxi Si, epitaxi SiC, systému MOCVD, procesu RTP/RTA, procesu leptání, procesu leptání ICP/PSS, procesu různých typů LED, včetně modré a zelené LED, UV LED a hlubokého UV LED atd., která je přizpůsobena zařízení od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI a tak dále.
Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku | |
Vlastnictví | Typická hodnota |
Krystalová struktura | FCC β fáze polykrystalická, převážně (111) orientovaná |
Hustota | 3,21 g/cm³ |
Tvrdost | Tvrdost 2500 Vickers(zátěž 500g) |
Velikost zrna | 2~10μm |
Chemická čistota | 99,99995 % |
Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
Teplota sublimace | 2700 ℃ |
Pevnost v ohybu | 415 MPa RT 4-bod |
Youngův modul | Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Tepelná vodivost | 300W·m-1·K-1 |
Tepelná roztažnost (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem EPI Wafer Lift Pin v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakování SiC na povrchu grafitu. Nabízíme EPI Wafer Lift Pin pro proces Epi. S vysokou kvalitou a konkurenceschopnou cenou vás vítáme na návštěvě naší továrny v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor nabízí komplexní sadu komponentních řešení pro LPE silikonové epitaxní reakční komory, které poskytují dlouhou životnost, stabilní kvalitu a zlepšenou výtěžnost epitaxní vrstvy. Náš produkt, jako je SiC Coated Barrel Susceptor, získal zpětnou vazbu od zákazníků. Poskytujeme také technickou podporu pro Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy a další. Neváhejte se zeptat na informace o ceně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je továrna, která kombinuje přesné obrábění a schopnosti polovodičových povlaků SiC a TaC. Susceptor Si Epi sudového typu poskytuje možnosti regulace teploty a atmosféry, čímž zvyšuje efektivitu výroby v procesech epitaxního růstu polovodičů. Těšíme se na navázání spolupráce s vámi.
Přečtěte si víceOdeslat dotazJako přední tuzemský výrobce povlaků z karbidu křemíku a karbidu tantalu je VeTek Semiconductor schopen zajistit přesné obrábění a rovnoměrný povlak SiC Coated Epi Susceptor, čímž účinně kontroluje čistotu povlaku a produktu pod 5 ppm. Životnost produktu je srovnatelná s životností SGL. Vítejte a zeptejte se nás.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem sady LPE Si Epi Susceptor Set v Číně. Již mnoho let se specializujeme na SiC povlak a TaC povlak. Nabízíme LPE Si Epi Susceptor Set navržený speciálně pro 4'' wafery LPE PE2061S. Odpovídající stupeň grafitového materiálu a povlaku SiC je dobrý, rovnoměrnost je vynikající a životnost je dlouhá, což může zlepšit výtěžek růstu epitaxní vrstvy během procesu LPE (liquid Phase Epitaxy). Vítáme vás na návštěvě naší továrny v Čína.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem susceptorů Aixtron G5 MOCVD v Číně. Již mnoho let se specializujeme na povlakový materiál SiC. Nabízíme susceptory Aixtron G5 MOCVD navržené speciálně pro reaktor Aixtron G5 MOCVD. Tato sada susceptorů Aixtron G5 MOCVD je všestranným a efektivním řešením pro výrobu polovodičů s optimální velikostí, kompatibilitou a vysokou produktivitou. Vítejte na dotazu.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz