Robotické rameno pro manipulaci s plátkem

Vetek Semiconductor je profesionál v robotickém rameni pro manipulaci s plátkem vyrobeným technologií tepelného nástřiku.

1. Technologie tepelného stříkání může účinně zlepšit odolnost ramene robota proti opotřebení. Rameno robota pro manipulaci s destičkami se během provozu často dotýká destiček a dalšího vybavení. Tento vysokofrekvenční kontakt a pohyb může snadno způsobit opotřebení mechanických částí. Nastříkáním materiálů odolných proti opotřebení na povrch ramena robota lze značně snížit opotřebení dílů, prodloužit životnost ramena robota a snížit náklady na údržbu.

2. Významnou výhodou technologie žárového nástřiku je také zlepšení odolnosti proti korozi. V procesu výroby polovodičů musí robotické rameno pracovat v prostředí plném korozivních plynů a chemických činidel. Tyto chemikálie mohou korodovat rameno robota, což má vliv na jeho výkon a přesnost. Technologie tepelného nástřiku může na povrchu ramena robota vytvořit hustý antikorozní povlak, který účinně zabrání invazi korozivních látek, čímž zajistí stabilní provoz ramena robota v drsném prostředí.

3. Technologie tepelného nástřiku může také zvýšit tepelnou stabilitu ramena robota. V procesu výroby polovodičů budou některé procesy generovat vysoké teploty a robotické rameno musí udržovat přesný provoz v prostředí s vysokou teplotou. Technologie tepelného nástřiku zajišťuje, že se rameno robota nedeformuje nebo nedegraduje při vysokých teplotách, potažením povrchu ramena robota materiály s vysokou teplotní stabilitou, čímž se zlepší spolehlivost a přesnost celé výrobní linky.

4. Aplikace antistatického povlaku dále zlepšuje výkon ramena robota. Desky jsou velmi citlivé na statickou elektřinu a nahromadění statické elektřiny může způsobit kontaminaci povrchu destičky nebo poškození elektronických zařízení. Prostřednictvím technologie žárového nástřiku lze na povrchu ramena robota vytvořit antistatický povlak, který účinně snižuje tvorbu statické elektřiny, chrání wafer před poškozením statickou elektřinou a zajišťuje kvalitu a bezpečnost produktu.

5. Technologie tepelného nástřiku může také snížit kontaminaci ramena robota částicemi během provozu. Při výrobě polovodičů může jakákoli kontaminace malými částicemi ovlivnit kvalitu waferu. Použitím technologie žárového nástřiku lze na povrchu ramena robota vytvořit hladký a hustý povlak, který snižuje sypání částic, udržuje čistotu výrobního prostředí a zlepšuje tak výtěžnost produktu.