Nosič plátků z vysoce čistého karbidu křemíku

VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier jsou důležité součásti při zpracování polovodičů, navržené pro bezpečné držení a přepravu jemných křemíkových destiček, které hrají klíčovou roli ve všech fázích výroby. Nosiče plátků z vysoce čistého karbidu křemíku VeTek Semiconductor jsou pečlivě navrženy a vyrobeny tak, aby zajistily vynikající výkon a spolehlivost. Společnost VeTek Semiconductor se zavázala poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

VeTek Semiconductor je profesionální lídr v Číně, výrobce nosičů z vysoce čistého karbidu křemíku s vysokou kvalitou a rozumnou cenou. Vítejte a kontaktujte nás.

Nosič plátků z vysoce čistého karbidu křemíku společnosti VeTek Semiconductor je nosič navržený pro více plátků pro maximalizaci prostorové efektivity v procesní komoře. Tyto vysoce čisté nosiče destiček z karbidu křemíku jsou typicky obdélníkové nebo válcové a každý nosič má přesně obrobené štěrbiny nebo drážky, které jsou od sebe odděleny, aby pevně držely jednu destičku ve svislé poloze. Nosič plátků z vysoce čistého karbidu křemíku má vynikající odolnost vůči vysokým teplotám, korozivním chemikáliím a mechanickému namáhání, díky čemuž je ideální pro ochranu plátků před potenciálním poškozením. Jsou vyrobeny z vysoce čistého karbidu křemíku (SiC), aby byla zajištěna integrita a bezpečnost waferů během zpracování.

Nosiče plátků z vysoce čistého karbidu křemíku hrají zásadní roli ve složitých procesech, jako je difúze, RTP a tepelná pole, slouží jako stabilní nosič plátků pro dosažení bezproblémového přenosu mezi různými zařízeními a stupni. Jeho vertikální struktura minimalizuje podlahovou plochu v procesní komoře, optimalizuje výrobní kapacitu a dokáže efektivně manipulovat s velkými dávkami waferů. Nosiče plátků z vysoce čistého karbidu křemíku jsou známé svou vynikající odolností vůči vysokým teplotám, korozi a mechanické pevnosti, aby chránily pláty před potenciálním poškozením.

Nosič plátků z vysoce čistého karbidu křemíku společnosti VeTek Semiconductor je vyroben z vysoce čistého karbidu křemíku (SiC) a má vynikající odolnost vůči vysokým teplotám, odolnost proti chemické korozi a mechanickou pevnost, aby chránil integritu plátků v drsném prostředí. Jeho pečlivě navržená struktura a přesně zpracované štěrbiny zajišťují, že wafery jsou pevně umístěny tak, aby vyhovovaly potřebám vysoce přesného zpracování.

VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat zákazníkům vysoce kvalitní produkty a spolehlivou technickou podporu. Ať už jde o růst plátků, difúzi, nanášení tenkých vrstev nebo jiné kritické procesy, nosič plátků z vysoce čistého karbidu křemíku společnosti VeTek Semiconductor může hrát důležitou roli při zajišťování stability a konzistence výrobního procesu. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Parametr produktu nosiče plátků z vysoce čistého karbidu křemíku

Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku
Vlastnictví	Typická hodnota
Pracovní teplota (°C)	1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí)
obsah SiC	> 99,96 %
Volný obsah Si	< 0,1 %
Objemová hmotnost	2,60-2,70 g/cm3
Zjevná pórovitost	< 16 %
Pevnost v tlaku	> 600 MPa
Pevnost v ohybu za studena	80-90 MPa (20 °C)
Pevnost v ohybu za tepla	90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná roztažnost @1500°C	4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivost @1200°C	23 W/m•K
Modul pružnosti	240 GPa
Odolnost proti tepelným šokům	Extrémně dobře