Konzolové pádlo z karbidu křemíku

Konzolová lopatka z karbidu křemíku VeTek Semiconductor je důležitou součástí v procesu výroby polovodičů, zvláště vhodná pro difuzní pece nebo pece LPCVD ve vysokoteplotních procesech, jako je difúze a RTP. Naše konzolová pádla z karbidu křemíku je pečlivě navržena a vyrobena s vynikající odolností vůči vysokým teplotám a mechanickou pevností a může bezpečně a spolehlivě přepravovat destičky do procesní trubice v náročných procesních podmínkách pro různé vysokoteplotní procesy, jako je difúze a RTP. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Můžete si být jisti, že si můžete zakoupit přizpůsobené konzolové pádlo z karbidu křemíku od VeTek Semiconducto. Těšíme se na spolupráci s vámi, pokud chcete vědět více, můžete se s námi nyní poradit, včas vám odpovíme!

Konzolová pádla z karbidu křemíku VeTek Semiconductor je vyrobena z vysoce čistého karbidu křemíku a má vynikající odolnost vůči vysokým teplotám a mechanickou pevnost. Je nepostradatelnou klíčovou součástí v procesu výroby polovodičů, zejména v difúzních nebo LPCVD pecích a RTP procesech. Precizní konstrukce a výroba konzolového pádla z karbidu křemíku zajišťuje bezpečné umístění a přenos destiček, aby byly splněny požadavky na vysoce přesné procesy.

Konzolová pádla z karbidu křemíku VeTek Semiconductor je vyrobena z karbidu křemíku jako hlavního materiálu. Karbid křemíku se vyznačuje vysokou pevností a dobrou tepelnou stabilitou, takže může odolat drsným podmínkám ve vysokoteplotním procesním prostředí polovodičových pecí. Jedním z důvodů pro výběr karbidu křemíku je to, že se dokáže přizpůsobit vysokoteplotnímu prostředí v polovodičových pecích.

Konstrukce konzolové lopatky z karbidu křemíku umožňuje její zasunutí do procesní trubky v peci a pevné upevnění na jednom konci mimo trubku. Tato konstrukce zajišťuje, že zpracovávaný plátek zůstane stabilní a podepřený během procesu a minimalizuje interferenci s tepelným prostředím v peci.

Společnost VeTek Semiconductor se zavázala poskytovat vysoce kvalitní produkty konzolových pádel SiC. Naše produkty jsou pečlivě navrženy a vyrobeny tak, aby splňovaly přísné požadavky procesu výroby polovodičů. Vynikající výkon a spolehlivost konzolového pádla z karbidu křemíku z něj činí nepostradatelnou klíčovou součást v polovodičovém průmyslu. Společnost VeTek Semiconductor se zavázala poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Parametr produktu konzolového pádla z karbidu křemíku

Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku
Vlastnictví	Typická hodnota
Pracovní teplota (°C)	1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí)
obsah SiC	> 99,96 %
Volný obsah Si	< 0,1 %
Objemová hmotnost	2,60-2,70 g/cm3
Zjevná pórovitost	< 16 %
Pevnost v tlaku	> 600 MPa
Pevnost v ohybu za studena	80-90 MPa (20 °C)
Pevnost v ohybu za tepla	90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná roztažnost @1500°C	4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivost @1200°C	23 W/m•K
Modul pružnosti	240 GPa
Odolnost proti tepelným šokům	Extrémně dobře