VeTek Semiconductor je profesionální výrobce a dodavatel v Číně pro člun z karbidu křemíku pro horizontální pec, s dlouholetými zkušenostmi v oblasti výzkumu a vývoje a výroby, může dobře kontrolovat kvalitu a nabídnout konkurenceschopnou cenu. Můžete si být jisti, že si u nás koupíte člun na oplatky z karbidu křemíku pro horizontální pec.
Vysoce kvalitní člun z karbidu křemíku pro horizontální pec nabízí čínský výrobce VeTek Semiconductor. Kupte si člun z karbidu křemíku pro horizontální pec, který je vysoce kvalitní přímo z továrny s nízkou cenou. Loď z karbidu křemíku pro horizontální pec se používá v trubkách pece pro nakládání a přenášení plátků při vysokoteplotním zpracování. Díky vynikajícím vlastnostem materiálů z karbidu křemíku, jako je vysoká teplotní odolnost, chemická odolnost proti korozi a tepelná stabilita, jsou široce používány v různých procesech tepelného zpracování, jako je difúze, oxidace, CVD a žíhání.
1. Vysoká tvrdost a odolnost proti opotřebení: Karbid křemíku má tvrdost hned po diamantu, díky čemuž je vysoce odolný proti opotřebení. To umožňuje lodím z karbidu křemíku odolávat opakovaným mechanickým nárazům a tření, čímž se prodlužuje jejich životnost.
2. Odolnost vůči vysokým teplotám: Karbid křemíku má bod tání 2730 °C, díky čemuž jsou lodě z karbidu křemíku vhodné pro prostředí s vysokou teplotou a různé procesy výroby polovodičů, jako je vysokoteplotní oxidace a difúze.
3. Nízký koeficient tepelné roztažnosti: Karbid křemíku má nízký koeficient tepelné roztažnosti, který pomáhá udržovat rozměrovou stabilitu při vysokých teplotách, zabraňuje deformaci člunu a ovlivňuje přesnost zpracování plátků.
4. Dobrá chemická stabilita: Karbid křemíku je odolný vůči většině chemikálií a nereaguje s běžnými kyselými a alkalickými roztoky, což zajišťuje bezpečnost a čistotu destiček.
Můžeme vyrobit různé typy člunů z karbidu křemíku, jako je horizontální člun, vertikální člun a jakékoli další přizpůsobené čluny.
Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
Vlastnictví | Typická hodnota |
Pracovní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí) |
obsah SiC | > 99,96 % |
Volný obsah Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnost | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjevná pórovitost | < 16 % |
Pevnost v tlaku | > 600 MPa |
Pevnost v ohybu za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnost v ohybu za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná roztažnost @1500°C | 4,70 ± 10-6/°C |
Tepelná vodivost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnost proti tepelným šokům | Extrémně dobře |
Lodička z karbidu křemíku pro horizontální pece nachází široké uplatnění v polovodičovém a fotovoltaickém průmyslu:
Čištění a leptání plátků
Difúze a oxidace
Galvanické pokovování a leptání
Chemické mechanické leštění (CMP)
Tepelné zpracování
Přenos a skladování oplatků