Vysoce čistý člun z karbidu křemíku společnosti VeTek Semiconductor je vyroben z extrémně čistého materiálu karbidu křemíku s vynikající tepelnou stabilitou, mechanickou pevností a chemickou odolností. Člun z vysoce čistého karbidu křemíku se používá v aplikacích s horkými zónami při výrobě polovodičů, zejména ve vysokoteplotních prostředích, a hraje důležitou roli při ochraně plátků, přepravě materiálů a udržování stabilních procesů. Společnost VeTek Semiconductor bude i nadále tvrdě pracovat na inovaci a zlepšování výkonu vysoce čistého člunu z karbidu křemíku, aby vyhovovala vyvíjejícím se potřebám výroby polovodičů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Jako profesionální výrobce by vám VeTek Semiconductor rád poskytl vysoce kvalitní člun z karbidu křemíku.
Vynikající tepelný výkon: Vysoce čistý člun z karbidu křemíku od VeTek Semiconductor má vynikající tepelný výkon, je stabilní ve vysokoteplotním prostředí a má vynikající tepelnou vodivost, což jim umožňuje pracovat při teplotách vysoko nad okolní teplotou. Díky tomu je vysoce čistý člun z karbidu křemíku ideální pro aplikace s vysokým výkonem a vysokou teplotou.
Vynikající odolnost proti korozi: Člun z vysoce čistého karbidu křemíku je klíčovým nástrojem pro výrobu polovodičů a má silnou odolnost vůči různým korozivním činidlům. Jako spolehlivý nosič odolá účinkům vysoké teploty a koroze v chemickém prostředí a zajišťuje bezpečné a efektivní zpracování plátků z karbidu křemíku. Jako spolehlivý nosič odolá účinkům vysoké teploty a koroze v chemickém prostředí a zajišťuje bezpečné a efektivní zpracování plátků z karbidu křemíku.
Rozměrová integrita: Vysoce čistý karbid křemíku Wafer Boat se nesmršťuje během procesu spékání, zachovává rozměrovou integritu a eliminuje zbytková napětí, která by mohla způsobit deformaci nebo prasknutí dílů. To umožňuje výrobu tvarově složitých dílů s přesnými rozměry. Bez ohledu na to, zda jde o výrobu polovodičových součástek nebo jiných průmyslových odvětví, vysoce čistý karbid křemíku Wafer Boat poskytuje spolehlivou kontrolu rozměrů, aby bylo zajištěno, že díly splňují specifikace.
Vysoce čistý Silicon Carbide Wafer Boat společnosti VeTek Semiconductor je všestranným nástrojem, který lze použít pro různé technologie výroby polovodičů, včetně epitaxního růstu a chemického nanášení par. Díky své odolné konstrukci a nereaktivní povaze je vysoce čistý člun z karbidu křemíku vhodný pro různé chemické procesy zpracování a zajišťuje, že se může hladce přizpůsobit různým zpracovatelským prostředím.
Při výrobě polovodičů jsou epitaxní růst a chemické nanášení par běžnými procesními kroky používanými k pěstování vysoce kvalitních plátků a tenkých filmů. Člun z vysoce čistého SiC hraje důležitou roli jako nosič, který odolá vlivu vysokých teplot a chemikálií, aby byly zajištěny přesné procesy růstu a ukládání.
Kromě odolného provedení je člun z vysoce čistého SiC také nereaktivní. To znamená, že nebude nepříznivě reagovat se zpracovatelskými chemikáliemi, čímž zachová integritu a výkon lodi. To poskytuje výrobcům polovodičů spolehlivý nástroj pro zajištění konzistence a opakovatelnosti ve výrobním procesu.
Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
Vlastnictví | Typická hodnota |
Pracovní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí) |
obsah SiC | > 99,96 % |
Volný obsah Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnost | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjevná pórovitost | < 16 % |
Pevnost v tlaku | > 600 MPa |
Pevnost v ohybu za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnost v ohybu za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná roztažnost @1500°C | 4,70 ± 10-6/°C |
Tepelná vodivost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnost proti tepelným šokům | Extrémně dobře |