VeTek Semiconductor je váš inovativní partner v oblasti zpracování polovodičů. Díky našemu rozsáhlému portfoliu kombinací materiálů keramiky z karbidu křemíku polovodičové kvality, možnostem výroby součástí a službám aplikačního inženýrství vám můžeme pomoci překonat významné výzvy. Technická technická keramika z karbidu křemíku je široce používána v polovodičovém průmyslu díky jejich výjimečnému materiálu. Vysoce čistá keramika z karbidu křemíku společnosti VeTek Semiconductor se často používá během celého cyklu výroby a zpracování polovodičů.
VeTek Semiconductor poskytuje keramické komponenty speciálně navržené pro dávkovou difúzi a požadavky LPCVD, včetně:
• Přepážky a držáky
• Vstřikovače
• Vložky a procesní trubky
• Konzolová pádla z karbidu křemíku
• Oplatkové čluny a podstavce
Konzolové pádlo SiC Procesní trubky SiC Procesní trubice z karbidu křemíku SiC vertikální oplatkový člun SiC horizontální oplatkový člun SiC horizontální čtvercový oplatkový člun SiC LPCVD oplatkový člun SiC horizontální plátová loď SiC kulatý oplatkový člun
Minimalizujte kontaminaci a neplánovanou údržbu pomocí vysoce čistých komponent navržených pro náročné zpracování plazmového leptání, včetně:
Zaostřovací kroužky
Trysky
Štíty
Sprchové hlavice
Okna / víka
Další zakázkové komponenty
VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty přizpůsobené pro aplikace vysokoteplotního tepelného zpracování v polovodičovém průmyslu. Tyto aplikace zahrnují RTP, Epi procesy, difúzi, oxidaci a žíhání. Naše technická keramika je navržena tak, aby odolávala teplotním šokům a poskytovala spolehlivý a konzistentní výkon. S komponenty VeTek Semiconductor mohou výrobci polovodičů dosáhnout efektivního a vysoce kvalitního tepelného zpracování, což přispívá k celkovému úspěchu výroby polovodičů.
• Difuzory
• Izolátory
• Susceptory
• Další vlastní tepelné komponenty
Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
Vlastnictví | Typická hodnota |
Pracovní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí) |
Obsah SiC / SiC | > 99,96 % |
Obsah Si / Volný Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnost | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjevná pórovitost | < 16 % |
Pevnost v tlaku | > 600 MPa |
Pevnost v ohybu za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnost v ohybu za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná roztažnost @1500°C | 4,70 ± 10-6/°C |
Tepelná vodivost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnost proti tepelným šokům | Extrémně dobře |
VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem vysoce čistých SiC Cantilever Paddle v Číně. Konzolové lopatky SiC s vysokou čistotou se běžně používají v polovodičových difúzních pecích jako platformy pro přenos plátků nebo nakládání. VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat pokročilé technologie a produktová řešení pro polovodičový průmysl. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazJako profesionální výrobce a dodavatel oplatkových člunů a podstavců s vertikálním sloupem v Číně je vertikální člun a podstavec společnosti Vetek Semiconductor vyroben z vysoce čistého křemene nebo křemíkové uhlíkové keramiky (SiC) s vynikající odolností vůči vysokým teplotám, chemickou stabilitou a mechanickou pevností. a je nepostradatelnou základní součástí v procesu výroby polovodičů. Vítejte u vaší další konzultace.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat je pokročilé zařízení pro zpracování polovodičů. Struktura produktu Contiguous Wafer Boat je pečlivě navržena tak, aby zajistila efektivní zpracování a výrobu přesných waferů. Vetek Semiconductor se zavazuje poskytovat vynikající technologie a produktová řešení pro polovodičový průmysl. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je profesionální čínský výrobce Silicon On Insulator Wafer, ALD Planetary Base a TaC Coated Graphite Base. Silicon On Insulator Wafer společnosti VeTek Semiconductor je důležitým materiálem polovodičového substrátu a díky svým vynikajícím vlastnostem produktu hraje klíčovou roli ve vysoce výkonných, nízkoenergetických, vysoce integračních a RF aplikacích. Těšíme se na další spolupráci s Vámi.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je profesionální výrobce a dodavatel vodicích kroužků potažených TaC, horizontálního nosiče destiček SiC a susceptorů potažených SiC v Číně. Jsme odhodláni poskytovat dokonalou technickou podporu a špičková produktová řešení pro polovodičový průmysl. Vítejte, kontaktujte nás.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSiC Wafer Boat společnosti VeTek Semiconductor je velmi výkonný produkt. Naše SiC Wafer Boat se obvykle používá v polovodičových oxidačních difúzních pecích, aby se zajistilo rovnoměrné rozložení teploty na plátku a zlepšila se kvalita zpracování křemíkového plátku. Vysoká teplotní stabilita a vysoká tepelná vodivost SiC materiálů zajišťuje efektivní a spolehlivé zpracování polovodičů. Jsme odhodláni poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz