VeTek Semiconductor je váš inovativní partner v oblasti zpracování polovodičů. Díky našemu rozsáhlému portfoliu kombinací materiálů keramiky z karbidu křemíku polovodičové kvality, možnostem výroby součástí a službám aplikačního inženýrství vám můžeme pomoci překonat významné výzvy. Technická technická keramika z karbidu křemíku je široce používána v polovodičovém průmyslu díky jejich výjimečnému materiálu. Vysoce čistá keramika z karbidu křemíku společnosti VeTek Semiconductor se často používá během celého cyklu výroby a zpracování polovodičů.
VeTek Semiconductor poskytuje keramické komponenty speciálně navržené pro dávkovou difúzi a požadavky LPCVD, včetně:
• Přepážky a držáky
• Vstřikovače
• Vložky a procesní trubky
• Konzolová pádla z karbidu křemíku
• Oplatkové čluny a podstavce
Konzolové pádlo SiC Procesní trubky SiC Procesní trubice z karbidu křemíku SiC vertikální oplatkový člun SiC horizontální oplatkový člun SiC horizontální čtvercový oplatkový člun SiC LPCVD oplatkový člun SiC horizontální plátová loď SiC kulatý oplatkový člun
Minimalizujte kontaminaci a neplánovanou údržbu pomocí vysoce čistých komponent navržených pro náročné zpracování plazmového leptání, včetně:
Zaostřovací kroužky
Trysky
Štíty
Sprchové hlavice
Okna / víka
Další zakázkové komponenty
VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty přizpůsobené pro aplikace vysokoteplotního tepelného zpracování v polovodičovém průmyslu. Tyto aplikace zahrnují RTP, Epi procesy, difúzi, oxidaci a žíhání. Naše technická keramika je navržena tak, aby odolávala teplotním šokům a poskytovala spolehlivý a konzistentní výkon. S komponenty VeTek Semiconductor mohou výrobci polovodičů dosáhnout efektivního a vysoce kvalitního tepelného zpracování, což přispívá k celkovému úspěchu výroby polovodičů.
• Difuzory
• Izolátory
• Susceptory
• Další vlastní tepelné komponenty
Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
Vlastnictví | Typická hodnota |
Pracovní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí) |
Obsah SiC / SiC | > 99,96 % |
Obsah Si / Volný Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnost | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjevná pórovitost | < 16 % |
Pevnost v tlaku | > 600 MPa |
Pevnost v ohybu za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnost v ohybu za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná roztažnost @1500°C | 4,70 ± 10-6/°C |
Tepelná vodivost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnost proti tepelným šokům | Extrémně dobře |
VeTek Semiconductor poskytuje vysoce výkonné procesní trubice SiC pro výrobu polovodičů. Naše procesní trubky SiC vynikají v oxidačních a difúzních procesech. Díky vynikající kvalitě a řemeslnému zpracování nabízejí tyto elektronky stabilitu při vysokých teplotách a tepelnou vodivost pro efektivní zpracování polovodičů. Nabízíme konkurenceschopné ceny a snažíme se být vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazKonzolové pádlo SiC společnosti VeTek Semiconductor je vysoce výkonný produkt. Naše konzolová lopatka SiC se obvykle používá v pecích pro tepelné zpracování pro manipulaci a podporu křemíkových plátků, chemické nanášení z plynné fáze (CVD) a další procesy zpracování v procesech výroby polovodičů. Vysoká teplotní stabilita a vysoká tepelná vodivost SiC materiálu zajišťuje vysokou účinnost a spolehlivost v procesu zpracování polovodičů. Jsme odhodláni poskytovat vysoce kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je profesionální výrobce a dodavatel v Číně pro člun z karbidu křemíku pro horizontální pec, s dlouholetými zkušenostmi v oblasti výzkumu a vývoje a výroby, může dobře kontrolovat kvalitu a nabídnout konkurenceschopnou cenu. Můžete si být jisti, že si u nás koupíte člun na oplatky z karbidu křemíku pro horizontální pec.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je profesionální výrobce a dodavatel v Číně pro člun z karbidu křemíku potaženého SiC, s dlouholetými zkušenostmi v oblasti výzkumu a vývoje a výroby, může dobře kontrolovat kvalitu a nabízet konkurenceschopnou cenu. Vítejte na návštěvě naší továrny a diskutovat o spolupráci.
Přečtěte si víceOdeslat dotazKonzolová lopatka z karbidu křemíku VeTek Semiconductor je důležitou součástí v procesu výroby polovodičů, zvláště vhodná pro difuzní pece nebo pece LPCVD ve vysokoteplotních procesech, jako je difúze a RTP. Naše konzolová pádla z karbidu křemíku je pečlivě navržena a vyrobena s vynikající odolností vůči vysokým teplotám a mechanickou pevností a může bezpečně a spolehlivě přepravovat destičky do procesní trubice v náročných procesních podmínkách pro různé vysokoteplotní procesy, jako je difúze a RTP. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier jsou důležité součásti při zpracování polovodičů, navržené pro bezpečné držení a přepravu jemných křemíkových destiček, které hrají klíčovou roli ve všech fázích výroby. Nosiče plátků z vysoce čistého karbidu křemíku VeTek Semiconductor jsou pečlivě navrženy a vyrobeny tak, aby zajistily vynikající výkon a spolehlivost. Společnost VeTek Semiconductor se zavázala poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz