VeTek Semiconductor je váš inovativní partner v oblasti zpracování polovodičů. Díky našemu rozsáhlému portfoliu kombinací materiálů keramiky z karbidu křemíku polovodičové kvality, možnostem výroby součástí a službám aplikačního inženýrství vám můžeme pomoci překonat významné výzvy. Technická technická keramika z karbidu křemíku je široce používána v polovodičovém průmyslu díky jejich výjimečnému materiálu. Vysoce čistá keramika z karbidu křemíku společnosti VeTek Semiconductor se často používá během celého cyklu výroby a zpracování polovodičů.
VeTek Semiconductor poskytuje keramické komponenty speciálně navržené pro dávkovou difúzi a požadavky LPCVD, včetně:
• Přepážky a držáky
• Vstřikovače
• Vložky a procesní trubky
• Konzolová pádla z karbidu křemíku
• Oplatkové čluny a podstavce
Konzolové pádlo SiC Procesní trubky SiC Procesní trubice z karbidu křemíku SiC vertikální oplatkový člun SiC horizontální oplatkový člun SiC horizontální čtvercový oplatkový člun SiC LPCVD oplatkový člun SiC horizontální plátová loď SiC kulatý oplatkový člun
Minimalizujte kontaminaci a neplánovanou údržbu pomocí vysoce čistých komponent navržených pro náročné zpracování plazmového leptání, včetně:
Zaostřovací kroužky
Trysky
Štíty
Sprchové hlavice
Okna / víka
Další zakázkové komponenty
VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty přizpůsobené pro aplikace vysokoteplotního tepelného zpracování v polovodičovém průmyslu. Tyto aplikace zahrnují RTP, Epi procesy, difúzi, oxidaci a žíhání. Naše technická keramika je navržena tak, aby odolávala teplotním šokům a poskytovala spolehlivý a konzistentní výkon. S komponenty VeTek Semiconductor mohou výrobci polovodičů dosáhnout efektivního a vysoce kvalitního tepelného zpracování, což přispívá k celkovému úspěchu výroby polovodičů.
• Difuzory
• Izolátory
• Susceptory
• Další vlastní tepelné komponenty
Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
Vlastnictví | Typická hodnota |
Pracovní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí) |
Obsah SiC / SiC | > 99,96 % |
Obsah Si / Volný Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnost | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjevná pórovitost | < 16 % |
Pevnost v tlaku | > 600 MPa |
Pevnost v ohybu za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnost v ohybu za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná roztažnost @1500°C | 4,70 ± 10-6/°C |
Tepelná vodivost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnost proti tepelným šokům | Extrémně dobře |
Vysoce čistý člun z karbidu křemíku společnosti VeTek Semiconductor je vyroben z extrémně čistého materiálu karbidu křemíku s vynikající tepelnou stabilitou, mechanickou pevností a chemickou odolností. Člun z vysoce čistého karbidu křemíku se používá v aplikacích s horkými zónami při výrobě polovodičů, zejména ve vysokoteplotních prostředích, a hraje důležitou roli při ochraně plátků, přepravě materiálů a udržování stabilních procesů. Společnost VeTek Semiconductor bude i nadále tvrdě pracovat na inovaci a zlepšování výkonu vysoce čistého člunu z karbidu křemíku, aby vyhovovala vyvíjejícím se potřebám výroby polovodičů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVeTek Semiconductor je profesionální výrobce a dodavatel, který se věnuje poskytování vysoce kvalitního prášku z ultračistého karbidu křemíku pro růst krystalů. S čistotou až 99,999 % hm. a extrémně nízkými úrovněmi nečistot dusíku, boru, hliníku a dalších kontaminantů je speciálně navržen pro zlepšení poloizolačních vlastností vysoce čistého karbidu křemíku. Vítejte na dotazování a spolupráci s námi!
Přečtěte si víceOdeslat dotaz