SiC oplatkový člun

SiC Wafer Boat společnosti VeTek Semiconductor je velmi výkonný produkt. Naše SiC Wafer Boat se obvykle používá v polovodičových oxidačních difúzních pecích, aby se zajistilo rovnoměrné rozložení teploty na plátku a zlepšila se kvalita zpracování křemíkového plátku. Vysoká teplotní stabilita a vysoká tepelná vodivost SiC materiálů zajišťuje efektivní a spolehlivé zpracování polovodičů. Jsme odhodláni poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Následuje představení vysoce kvalitní lodi SiC Wafer Boat od VeTek Semiconductor v naději, že vám pomůže lépe porozumět lodi SiC Wafer Boat. Vítáme nové i staré zákazníky, aby s námi i nadále spolupracovali na vytváření lepší budoucnosti!

Přehled aplikace SiC Wafer Boat:

SiC horizontální čtvercové waferové čluny slouží jako kritické komponenty v procesech vysokoteplotní difúze, fungují jako waferové nosiče. Tyto čluny hrají zásadní roli při bezpečné a efektivní manipulaci s jemnými oplatkami během zpracování.

Požadavky na vlastnosti člunu SiC Wafer:

Pevnost při vysokých teplotách: Loď musí prokázat výjimečnou pevnost při vysokých teplotách, aby vydržela drsná prostředí zpracování při vysokých teplotách.

Chemická stabilita při vysokých teplotách: Udržování strukturální integrity a chemického složení za extrémně vysokých teplot zajišťuje čistotu procesu.

Výkon bez částic: Aby byla zajištěna kvalita zpracovaných plátků, na lodi nesmí docházet k tvorbě částic nebo kontaminaci.

Proč si vybrat SiC Wafer Boat společnosti Vetek Semiconductor?

Všestranné specifikace: Vetek Semiconductor nabízí řadu standardních specifikací a poskytuje přizpůsobené služby pro splnění specifických požadavků.

Kvalita a rychlost: Vetek Semiconductor zajišťuje vysoce kvalitní produkty a rychlé dodání, které splňují požadavky rychle se rozvíjejících odvětví.

Materiálové znalosti: Využití hustého rekrystalizovaného materiálu z karbidu křemíku zaručuje vynikající výkon a dlouhou životnost člunů.

High Temperature Threshold: Lodě Vetek Semiconductor se mohou pochlubit maximální provozní teplotou 1600 °C, vhodnou pro nejnáročnější vysokoteplotní procesy.

Efektivita nákladů: Lodě Vetek Semiconductor nabízejí vysoce konkurenční poměr ceny a výkonu a přinášejí hodnotu za peníze.

Odolnost: Díky dlouhé životnosti poskytují čluny Vetek Semiconductor spolehlivost a konzistenci v procesech manipulace s plátky.

Vetek Semiconductor vyniká na trhu svým závazkem ke kvalitě, možnostem přizpůsobení, inovacím materiálů, schopnostem při vysokých teplotách, hospodárnosti a dlouhé životnosti, což z něj činí preferovanou volbu pro výrobce polovodičů na celém světě.

Parametr produktu SiC Wafer Boat:

Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku
Vlastnictví	Typická hodnota
Pracovní teplota (°C)	1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí)
obsah SiC	> 99,96 %
Volný obsah Si	< 0,1 %
Objemová hmotnost	2,60-2,70 g/cm3
Zjevná pórovitost	< 16 %
Pevnost v tlaku	> 600 MPa
Pevnost v ohybu za studena	80-90 MPa (20 °C)
Pevnost v ohybu za tepla	90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná roztažnost @1500°C	4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivost @1200°C	23 W/m•K
Modul pružnosti	240 GPa
Odolnost proti tepelným šokům	Extrémně dobře