Čína Proces epitaxe SiC výrobce, dodavatel, továrna

Jedinečné karbidové povlaky VeTek Semiconductor poskytují vynikající ochranu grafitovým dílům v procesu SiC Epitaxy pro zpracování náročných polovodičových a kompozitních polovodičových materiálů. Výsledkem je prodloužená životnost grafitových komponent, zachování reakční stechiometrie, inhibice migrace nečistot do aplikací epitaxe a růstu krystalů, což vede ke zvýšení výtěžku a kvality.

Naše povlaky z karbidu tantalu (TaC) chrání kritické součásti pece a reaktoru při vysokých teplotách (až 2200 °C) před horkým čpavkem, vodíkem, parami křemíku a roztavenými kovy. VeTek Semiconductor má širokou škálu možností zpracování a měření grafitu, aby vyhovoval vašim přizpůsobeným požadavkům, takže můžeme nabídnout zpoplatněný povlak nebo kompletní servis s naším týmem odborných inženýrů připravených navrhnout správné řešení pro vás a vaši konkrétní aplikaci. .

Složené polovodičové krystaly

VeTek Semiconductor může poskytnout speciální povlaky TaC pro různé komponenty a nosiče. Prostřednictvím špičkového povlakovacího procesu společnosti VeTek Semiconductor může povlak TaC získat vysokou čistotu, vysokou teplotní stabilitu a vysokou chemickou odolnost, čímž se zlepšuje kvalita produktu krystalických vrstev TaC/GaN) a EPl a prodlužuje se životnost kritických součástí reaktoru.

Tepelné izolátory

Komponenty pro růst krystalů SiC, GaN a AlN včetně kelímků, držáků semen, deflektorů a filtrů. Průmyslové sestavy včetně odporových topných prvků, trysek, stínících kroužků a pájecích přípravků, komponentů GaN a SiC epitaxních CVD reaktorů včetně nosičů plátků, satelitních van, sprchových hlavic, čepic a podstavců, komponent MOCVD.

Účel:

Nosič plátku LED (dioda vyzařující světlo).

ALD (polovodičový) přijímač

EPI receptor (proces SiC epitaxe)

Satelitní susceptor potažený TaC Susceptor a kroužek povlaku TaC Díly povlaku TaC Halfmoon díly s povlakem TaC

Srovnání povlaku SiC a povlaku TaC:

	SiC	TaC
Hlavní rysy	Ultra vysoká čistota, vynikající odolnost vůči plazmě	Vynikající stabilita při vysokých teplotách (shoda procesu při vysokých teplotách)
Čistota	>99,9999 %	>99,9999 %
Hustota (g/cm 3)	3.21	15
Tvrdost (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Odpor [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Tepelná vodivost (W/m-K)	200-360	22
Koeficient tepelné roztažnosti (10-6/℃)	4,5-5	6.3
aplikace	Polovodičové vybavení Keramický přípravek (ostřící kroužek, sprchová hlavice, maketa plátku)	SiC Růst monokrystalů, Epi, UV LED části vybavení

View as

Nosič plátku s povlakem CVD TaC

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier, profesionální výrobce a továrna na nosiče povlaků CVD TaC v Číně, je nástroj pro přenášení plátků speciálně navržený pro vysokoteplotní a korozivní prostředí při výrobě polovodičů. Tento výrobek má vysokou mechanickou pevnost, vynikající odolnost proti korozi a tepelnou stabilitu, což poskytuje nezbytnou záruku pro výrobu vysoce kvalitních polovodičových součástek. Vaše další dotazy jsou vítány.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Ohřívač povlaku TaC

VeTek Semiconductor je předním výrobcem a inovátorem TaC Coating Heater v Číně. Tento produkt má extrémně vysoký bod tání (asi 3880 °C). Vysoký bod tání TaC Coating Heater umožňuje pracovat při extrémně vysokých teplotách, zejména při růstu epitaxních vrstev nitridu galia (GaN) v procesu metal organické chemické depozice z plynné fáze (MOCVD). VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat pokročilé technologie a produktová řešení pro polovodičový průmysl. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Sklíčidlo potažené TaC

Jako profesionální výrobce a dodavatel sklíčidla TaC Coated Chuck v Číně je sklíčidlo TaC Coating Chuck společnosti VeTek Semiconductor speciálně navrženo pro polovodičové pece. Díky své vysoké teplotní odolnosti, chemické inertnosti a vynikajícímu výkonu poskytuje inovativní technologie Vetek Semiconductor spolehlivé řešení pro průmysl výroby polovodičů pro zajištění vysoce kvalitních výrobních standardů. Věříme, že naše produkty vám mohou přinést pokročilé technologie a vysoce kvalitní produktová řešení.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Potahovací trubice TaC

Jako profesionální výrobce a dodavatel povlakových trubek TaC v Číně je povlaková trubice TaC společnosti VeTek Semiconductor klíčovou součástí pro úspěšný růst monokrystalů karbidu křemíku. Díky vysoké teplotní odolnosti, chemické inertnosti a vynikajícímu výkonu zajišťuje výrobu vysoce kvalitních krystalů s konzistentními výsledky. Důvěřujte našim inovativním řešením, která posílí proces růstu krystalů SiC metodou PVT a dosáhnou vynikajících výsledků. Vítejte na dotazu.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

CVD TAC povlak

VeTek Semiconductor je přední výrobce, inovátor a lídr v oblasti CVD TAC Coating v Číně. Po mnoho let se zaměřujeme na různé produkty CVD TAC Coating, jako je CVD TaC povlak, CVD TaC Coating Ring, nosič CVD TaC Coating atd. VeTek Semiconductor podporuje přizpůsobené produktové služby a uspokojivé ceny produktů a těší se na vaše další konzultace.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Náhradní díl povlaku TaC

VeTek Semiconductor je profesionální výrobce TaC Coating Plate a dalších náhradních dílů TaC Coating v Číně. TaC Coating se v současnosti používá hlavně v procesech, jako je růst monokrystalů karbidu křemíku (metoda PVT), epitaxní disk (včetně epitaxe karbidu křemíku, LED epitaxe) atd. V kombinaci s dobrou dlouhodobou stabilitou TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate se stal měřítkem pro náhradní díly TaC Coating. Těšíme se, že se stanete naším dlouhodobým partnerem.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

<1 2 3 4 5...6 >

Jako profesionální výrobce a dodavatel Proces epitaxe SiC v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Proces epitaxe SiC vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.