Domov > produkty > Povlak z karbidu křemíku

Čína Povlak z karbidu křemíku výrobce, dodavatel, továrna

VeTek Semiconductor se specializuje na výrobu ultračistých produktů s povlakem z karbidu křemíku, tyto povlaky jsou navrženy pro aplikaci na čištěný grafit, keramiku a součásti žáruvzdorných kovů.


Naše vysoce čisté povlaky jsou primárně určeny pro použití v polovodičovém a elektronickém průmyslu. Slouží jako ochranná vrstva pro nosiče plátků, susceptory a topné prvky a chrání je před korozivním a reaktivním prostředím, které se vyskytuje v procesech, jako je MOCVD a EPI. Tyto procesy jsou nedílnou součástí zpracování plátků a výroby zařízení. Kromě toho jsou naše povlaky vhodné pro aplikace ve vakuových pecích a ohřevu vzorků, kde se setkáváme s vysokým vakuem, reaktivním a kyslíkovým prostředím.


Ve společnosti VeTek Semiconductor nabízíme komplexní řešení s našimi pokročilými možnostmi strojírny. To nám umožňuje vyrábět základní komponenty s použitím grafitu, keramiky nebo žáruvzdorných kovů a nanášet keramické povlaky SiC nebo TaC ve firmě. Poskytujeme také lakovací služby pro díly dodané zákazníkem, což zajišťuje flexibilitu pro splnění různých potřeb.


Naše produkty z karbidu křemíku jsou široce používány v epitaxi Si, epitaxi SiC, systému MOCVD, procesu RTP/RTA, procesu leptání, procesu leptání ICP/PSS, procesu různých typů LED, včetně modré a zelené LED, UV LED a hlubokého UV LED atd., která je přizpůsobena zařízení od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI a tak dále.


Části reaktoru, které umíme:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Povlak z karbidu křemíku má několik jedinečných výhod:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parametr povlakování polovodičů z karbidu křemíku VeTek

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku
Vlastnictví Typická hodnota
Krystalová struktura FCC β fáze polykrystalická, převážně (111) orientovaná
Hustota povlaku SiC 3,21 g/cm³
SiC povlakTvrdost Tvrdost 2500 Vickers(zátěž 500g)
Velikost zrna 2~10μm
Chemická čistota 99,99995 %
Tepelná kapacita 640 J·kg-1·K-1
Teplota sublimace 2700 ℃
Pevnost v ohybu 415 MPa RT 4-bod
Youngův modul Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃
Tepelná vodivost 300W·m-1·K-1
Tepelná roztažnost (CTE) 4,5×10-6K-1

KRYSTALOVÁ STRUKTURA CVD SIC FILMU

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Epitaxní susceptor GaN na bázi křemíku

Epitaxní susceptor GaN na bázi křemíku

Epitaxní susceptor GaN na bázi křemíku je základní komponentou potřebnou pro výrobu epitaxe GaN. VeTek Semiconductor, jako profesionální výrobce a dodavatel, se zavázal poskytovat vysoce kvalitní epitaxní susceptor GaN na bázi křemíku. Náš epitaxní susceptor GaN na bázi křemíku je navržen pro systémy epitaxních reaktorů GaN na bázi křemíku a vyznačuje se vysokou čistotou, vynikající odolností vůči vysokým teplotám a odolností proti korozi. VeTek Semiconductor se zavazuje poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, vítáme vás na dotaz.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
8palcový Halfmoon Part pro LPE reaktor

8palcový Halfmoon Part pro LPE reaktor

VeTek Semiconductor je přední výrobce polovodičových zařízení v Číně se zaměřením na výzkum a vývoj a výrobu 8palcových dílů Halfmoon pro LPE reaktor. V průběhu let jsme nashromáždili bohaté zkušenosti, zejména s povlakovými materiály SiC, a zavázali jsme se poskytovat účinná řešení šitá na míru pro LPE epitaxní reaktory. Náš 8palcový Halfmoon Part pro LPE reaktor má vynikající výkon a kompatibilitu a je nepostradatelnou klíčovou součástí při epitaxní výrobě. Vítejte ve svém dotazu a dozvíte se více o našich produktech.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Pancake susceptor potažený SiC pro 6'' destičky LPE PE3061S

Pancake susceptor potažený SiC pro 6'' destičky LPE PE3061S

Pancake Susceptor potažený SiC pro 6'' wafery LPE PE3061S je jednou ze základních komponent používaných při zpracování epitaxních waferů 6'' waferů. VeTek Semiconductor je v současné době předním výrobcem a dodavatelem SiC Coated Pancake Susceptor pro 6'' destičky LPE PE3061S v ​​Číně. Pancake Susceptor potažený SiC, který poskytuje, má vynikající vlastnosti, jako je vysoká odolnost proti korozi, dobrá tepelná vodivost a dobrá rovnoměrnost. Těšíme se na váš dotaz.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Podpora potažená SiC pro LPE PE2061S

Podpora potažená SiC pro LPE PE2061S

VeTek Semiconductor je přední výrobce a dodavatel SiC Coated Support pro LPE PE2061S v ​​Číně. SiC Coated Support pro LPE PE2061S je vhodný pro LPE silikonový epitaxní reaktor. Jako spodní část základny hlavně může SiC Coated Support pro LPE PE2061S odolat vysokým teplotám 1600 stupňů Celsia, čímž je dosaženo ultra dlouhé životnosti produktu a snižují se náklady zákazníků. Těšíme se na váš dotaz a další komunikaci.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Vrchní deska potažená SiC pro LPE PE2061S

Vrchní deska potažená SiC pro LPE PE2061S

VeTek Semiconductor se již mnoho let hluboce zabývá produkty povlakování SiC a stal se předním výrobcem a dodavatelem horní desky s povlakem SiC pro LPE PE2061S v ​​Číně. Námi poskytovaná SiC Coated Top Plate pro LPE PE2061S je určena pro LPE silikonové epitaxní reaktory a je umístěna nahoře spolu se základnou hlavně. Tato SiC Coated Top Plate pro LPE PE2061S má vynikající vlastnosti, jako je vysoká čistota, vynikající tepelná stabilita a rovnoměrnost, což napomáhá růstu vysoce kvalitních epitaxních vrstev. Bez ohledu na to, jaký produkt potřebujete, těšíme se na váš dotaz.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Susceptor hlavně potažený SiC pro LPE PE2061S

Susceptor hlavně potažený SiC pro LPE PE2061S

Jako jeden z předních závodů na výrobu susceptorů destiček v Číně společnost VeTek Semiconductor neustále pokročila ve výrobě susceptorů destiček a stala se první volbou pro mnoho výrobců epitaxních destiček. Barelový susceptor potažený SiC pro LPE PE2061S od společnosti VeTek Semiconductor je určen pro 4'' wafery LPE PE2061S. Susceptor má odolný povlak z karbidu křemíku, který zlepšuje výkon a trvanlivost během procesu LPE (liquid phase epitaxy). Vítáme váš dotaz, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem.

Přečtěte si víceOdeslat dotaz
Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu křemíku v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu křemíku vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept