Čína Povlak z karbidu křemíku výrobce, dodavatel, továrna

VeTek Semiconductor se specializuje na výrobu ultračistých produktů s povlakem z karbidu křemíku, tyto povlaky jsou navrženy pro aplikaci na čištěný grafit, keramiku a součásti žáruvzdorných kovů.

Naše vysoce čisté povlaky jsou primárně určeny pro použití v polovodičovém a elektronickém průmyslu. Slouží jako ochranná vrstva pro nosiče plátků, susceptory a topné prvky a chrání je před korozivním a reaktivním prostředím, které se vyskytuje v procesech, jako je MOCVD a EPI. Tyto procesy jsou nedílnou součástí zpracování plátků a výroby zařízení. Kromě toho jsou naše povlaky vhodné pro aplikace ve vakuových pecích a ohřevu vzorků, kde se setkáváme s vysokým vakuem, reaktivním a kyslíkovým prostředím.

Ve společnosti VeTek Semiconductor nabízíme komplexní řešení s našimi pokročilými možnostmi strojírny. To nám umožňuje vyrábět základní komponenty s použitím grafitu, keramiky nebo žáruvzdorných kovů a nanášet keramické povlaky SiC nebo TaC ve firmě. Poskytujeme také lakovací služby pro díly dodané zákazníkem, což zajišťuje flexibilitu pro splnění různých potřeb.

Naše produkty z karbidu křemíku jsou široce používány v epitaxi Si, epitaxi SiC, systému MOCVD, procesu RTP/RTA, procesu leptání, procesu leptání ICP/PSS, procesu různých typů LED, včetně modré a zelené LED, UV LED a hlubokého UV LED atd., která je přizpůsobena zařízení od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI a tak dále.

Části reaktoru, které umíme:

Povlak z karbidu křemíku má několik jedinečných výhod:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametr povlakování polovodičů z karbidu křemíku VeTek

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku
Vlastnictví	Typická hodnota
Krystalová struktura	FCC β fáze polykrystalická, převážně (111) orientovaná
Hustota povlaku SiC	3,21 g/cm³
SiC povlakTvrdost	Tvrdost 2500 Vickers（zátěž 500g）
Velikost zrna	2~10μm
Chemická čistota	99,99995 %
Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
Teplota sublimace	2700 ℃
Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4-bod
Youngův modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃
Tepelná vodivost	300W·m^-1·K^-1
Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10-6K^-1

KRYSTALOVÁ STRUKTURA CVD SIC FILMU

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Epi susceptor potažený karbidem křemíku Nosič plátků s povlakem SiC Satelitní kryt potažený SiC pro MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC povlak Topné těleso Satelitní nosič destiček Aixtron Přijímač SiC Coating Epi Povlak SiC s půlměsícovým grafitem

View as

Masivní plynová sprchová hlavice SiC

Pevná plynová sprchová hlavice SiC hraje hlavní roli při stejnoměrnosti plynu v procesu CVD, čímž zajišťuje rovnoměrné zahřívání substrátu. VeTek Semiconductor se již mnoho let hluboce angažuje v oblasti pevných SiC zařízení a je schopen poskytnout zákazníkům přizpůsobené plynové sprchové hlavice Solid SiC. Bez ohledu na to, jaké jsou vaše požadavky, těšíme se na váš dotaz.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Proces chemického napařování Pevný okrajový kroužek SiC

VeTek Semiconductor byl vždy oddán výzkumu, vývoji a výrobě pokročilých polovodičových materiálů. Dnes společnost VeTek Semiconductor dosáhla velkého pokroku v produktech s pevnými okrajovými kroužky SiC a je schopna poskytnout zákazníkům vysoce přizpůsobené pevné kroužky s okrajem SiC. Pevné okrajové kroužky SiC poskytují lepší rovnoměrnost leptání a přesné umístění plátku při použití s elektrostatickým sklíčidlem, což zajišťuje konzistentní a spolehlivé výsledky leptání. Těšíme se na váš dotaz a staneme se vzájemnými dlouhodobými partnery.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

Pevný kroužek pro leptání SiC

Zaostřovací kroužek pro leptání z pevného SiC je jednou ze základních součástí procesu leptání plátků, který hraje roli při fixaci plátku, zaostřování plazmy a zlepšování jednotnosti leptání plátků. Jako přední výrobce SiC Focusing Ring v Číně má VeTek Semiconductor pokročilou technologii a vyzrálý proces a vyrábí Solid SiC Etching Focusing Ring, který plně vyhovuje potřebám koncových zákazníků podle požadavků zákazníků. Těšíme se na váš dotaz a staneme se vzájemně dlouhodobými partnery.

Přečtěte si více Odeslat dotaz

<...14 15 16 17 18 >

Jako profesionální výrobce a dodavatel Povlak z karbidu křemíku v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby, které splňují specifické potřeby vašeho regionu, nebo si chcete koupit pokročilé a odolné Povlak z karbidu křemíku vyrobené v Číně, můžete nám zanechat zprávu.